[实用新型]一种高频等离子硅烷分解炉

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种多晶硅制造设备，具体涉及一种用于硅烷法多晶硅工艺的高频等离子硅烷分解炉，属于硅烷法多晶硅制造设备技术领域。

【背景技术】

硅烷法生产多晶硅工艺以其低能耗，低投资，高纯度等优点被广泛关注。虽然硅烷的分解为放热反应，不耗费大量的热量，但为了维持体系达到其分解温度，仍需补充热量。

现有技术的用于硅烷法多晶硅工艺的硅烷加热设备通常采用电加热的方式，尽管采用不同的加热体，但电加热体与气体直接接触会产生污染，从而降低了产品纯度，由于磨损和粘壁现象共存，时间久了加热效率也会较低。

因此，为避免上述技术问题，确有必要提供一种新型的高频等离子硅烷分解炉，以克服现有技术中的所述缺陷。

【实用新型内容】

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、污染少的高频等离子硅烷分解炉。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种高频等离子硅烷分解炉，其包括分解炉筒体、高频等离子灯具、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述高频等离子灯具收容于分解炉筒体内；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述高频等离子灯具插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。

本实用新型的高频等离子硅烷分解炉进一步设置为：于所述分解炉筒体的内表面设有一层耐磨耐高温材料层，外表面设有一层保温材料层。

本实用新型的高频等离子硅烷分解炉进一步设置为：于所述高频等离子灯具上连接有一根燃烧气体硅烷管道、一根稀释气体氩气管道以及一根冷却气体氩气管道。

本实用新型的高频等离子硅烷分解炉进一步设置为：所述分解炉筒体内设有一固定柱，所述高频等离子灯具固定于固定柱上。

本实用新型的高频等离子硅烷分解炉还设置为：所述分解炉筒体的一侧设有一视镜。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型的高频等离子硅烷分解炉利用高频等离子灯具对硅烷气体进行加热，避免了高温气体与金属的直接接触，减少了污染，提高了产品的纯度。

【附图说明】

图1是本实用新型的高频等离子硅烷分解炉的示意图。

【具体实施方式】

请参阅说明书附图1所示，本实用新型为一种高频等离子硅烷分解炉，其安装在硅烷气体纯化之后，其由分解炉筒体1、高频等离子灯具2、感应线圈3以及高频感应配电箱4等几部分组成。

其中，所述高频等离子灯具2收容于分解炉筒体1内，其由耐高温石英管组合而成，使用非金属耐高温材料，避免了污染。该高频等离子灯具2上连接有一根燃烧气体硅烷管道21、一根稀释气体氩气管道22以及一根冷却气体氩气管道23。所述燃烧气体硅烷管道21用于通入硅烷，使硅烷电离放热；所述稀释气体氩气管道2用于通入稀释气体--氩气，保证硅烷浓度；所述冷却气体氩气管道23用于通入冷却气体--氩气，降低高频等离子灯具2温度，保护高频等离子灯具2。

所述感应线圈3设置于分解炉筒体1内，其通过冷却密封组件5与高频感应配电箱4相连接。所述高频等离子灯具2插入感应线圈3内。该感应线圈3能够为高频等离子灯具2提供感应磁场，从而使高频等离子灯具2发热。所述冷却密封组件5既能给感应线圈3冷却，还能防止气体泄漏。

所述高频感应配电箱4安装于分解炉筒体1的一侧，其为感应线圈3提供电能。

进一步的，于所述分解炉筒体1的内表面设有一层耐磨耐高温材料层11，外表面设有一层保温材料层12。所述耐磨耐高温材料层11为碳化硅或氮化硅材质，其防止污染并延长使用寿命。所述保温材料层12能够增强分解炉筒体1的保温效果。所述分解炉筒体1内设有一固定柱13，所述高频等离子灯具2固定于固定柱13上，从而防止高频等离子灯具2脱落。所述分解炉筒体1的一侧还设有一视镜14，从而便于观察高频等离子灯具2的燃烧情况。

以上的具体实施方式仅为本创作的较佳实施例，并不用以限制本创作，凡在本创作的精神及原则之内所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本创作的保护范围之内。