[实用新型]一种筒板式液体气化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种筒板式液体气化装置。

背景技术

目前，用化学气相沉积方法镀膜大量采用液体作为镀膜的原料，这些液体原料必须经过气化才能供镀膜装置使用，所以必须有专门的液体气化装置来实现。

现有的液体原料的气化方法，多采用加热液体原料的方法来实现，相应的气化装置有：

中国专利02215556.2采用将液体原料雾化后气化的方法、中国专利200420050883.9采用载气对液体原料鼓泡的方法、中国专利201120460788.6采用一组气化管气化的方法。上述气化装置在用于热分解性高的液体原料气化时，液体原料的热分解生成物会不同程度地堵塞雾化喷头、气化管、鼓泡口等通路，造成通路不畅，换热不均，气化效率下降，气化不彻底，设备有效工作时间缩短。经过广泛检索，尚未发现较为理想的技术方案。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现阶段的液体气化器在对液体原料气化时，存在通路不畅、换热不均、气化效率下降、气化不彻底和设备有效工作时间缩短等缺点，而提出的一种筒板式液体气化装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种筒板式液体气化装置，包括下筒体，在下筒体上配合连接上筒体，在下筒体的上侧连接进液管、上侧连接载气管，在上筒体的顶端设有气体出口，其特征在于：

a、在下筒体的筒壁内设有下夹套，在下筒体内配合连接一组筒板，在筒板内设有空腔，空腔与下夹套连通，在每个筒板的外侧都设有一个引流管，相邻筒板上的引流管间隔一定角度，在筒板的中心还分别连接一个通气管，通气管的上端高于筒板的上表面，在下筒体外设有第一导热油供热装置，第一导热油供热装置通过管道与下夹套连通；

b、在上筒体内配合连接二次气化组件，在上筒体的筒壁内设有上夹套，在上筒体外设有第二导热油供热装置，第二导热油供热装置通过管道与上夹套连通。

在上述技术方案的基础上，可以有以下进一步的技术方案：

所述的二次气化组件包括丝网，在丝网的上下对称面上分别连接一组导管，导管与上夹套连通。

所述的相邻筒板上的引流管间隔180度。

在每个筒板的上面都设有隔板，隔板把筒板表面均分为两个区域，所述的隔板把上层的引流管的出口均分，在每个区域都平行设置一组导流板，导流板与隔板相垂直，所述的导流板的长度小于其所处的位置的从隔板到下筒体的筒壁的垂直距离，相邻的两个导流板一个与隔板连接，另一个与下筒体的筒壁连接，所述的隔板和通气管的高度均大于导流板。

在下筒体底部的排液口处还连接玻璃观察窗和阀门。

液体通过进液管进入筒体内，在隔板的作用下一分为二，将液体流径分隔为两个区域，液体的流向如图中的箭头所示，在引流管的作用下，实现液体流至下级筒板；在隔板的每侧区域内对称设置一组导流板，使液体薄层分两路曲折横过整个筒板，流径加长，热量利用效率极高，而且避免筒板出现小孔或狭窄结构，有效防止了堵塞现象，保证设备能长期运行；液体在逐级流过各层筒板的过程中，吸收热量，温度持续升高，经历从预热、缓慢气化、快速气化，直至在流过筒体底部的末层筒板时全部气化，通过在筒板中心位置设置上下贯通的通气管，使气化的液体和载气的混合气体通过此孔上升。 

所述的二次气化组件能将混合气体中没有气化的、少量的小液滴捕集，并以高于下筒体的温度，本方案优选高20℃，再次加热使之完全气化，上筒体较高的温度使完全气化的原料不会发生冷凝。

本实用新型的优点在于：本装置结构简单，热量利用效率高，采用的高温二次气化组件，能够保证液体全部气化，且设备无堵塞现象，可保证长期有效的运行。

附图说明

图1是本实用新型的基本结构示意图；

图2是图1的A—A剖视图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型提供的一种筒板式液体气化装置，包括由耐腐蚀金属材料制成的下筒体1，在下筒体1上通过法兰5配合连接上筒体2，下筒体1和上筒体2组成一个内部空间相通的整体筒，在下筒体1的一侧的上面连接进液管6、下面连接载气管7，在上筒体2的顶端设有气体出口9，其特征在于：

a、在下筒体1的筒壁内设有下夹套10，在下夹套10的上、下两侧分别设有下热油进（出）口12和下热油出(进)口11，在下筒体1外设有第一导热油供热装置13，在下热油进（出）口12和下热油出(进)口11处分别通过管道连接第一导热油供热装置13，第一导热油供热装置13可对下筒体1供热和进行温度控制。