[实用新型]分体式托晶盘

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域。

背景技术

直拉式单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路及单晶硅的的主要设备。随着太阳能电池硅材料的尺寸越来越大，以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高，对与之相对应的单晶硅生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求。托晶盘是直拉式单晶炉的必备部件，它直接影响单晶炉副室在左右旋转的晶体炉上工作运行的平稳性和安全性能。目前，现有的托晶盘为整体式，存在悬挂和取卸费时费力的缺点，安装托晶盘时操作人员需站在单晶炉副室下方将托晶盘安装上去，危险性较大，另外整体式托晶盘需外接延长杆，任何一处接口发生问题都会起不到保护作用，存在操作不便、保护性能差的缺点。

2011年11月30日，中国国家知识产权局公布了一种“直拉式单晶炉的可调托晶盘装置”(公布号CN102260904 A)，包括副室、托晶盘和摇臂，托晶盘与摇臂固定，副室下法兰侧面设有导向套，连接销轴穿过摇臂将其固定在导向套上，摇臂可绕连接销轴旋转，通过导向套内的弹簧可调节托晶盘的高度，此种装置清洁方便，可消除取晶棒过程中的安全隐患。但是导向套需要焊接在副室下法兰，拆卸维护不方便。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、使用方便、可拆卸及降低操作难度的分体式托晶盘。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种分体式托晶盘，包括托盘和两个结构相同的连接杆，所述两个连接杆对称设置在托盘两侧，所述连接杆下端与托盘固定，上端与单晶炉副室下法兰盘固定连接，所述托盘包括结构相同的第一托板和第二托板，所述第一托板与第二托板的相背端分别与位于托盘两侧的两个连接杆下端连接，相对端均设有半圆槽，所述第一托板与第二托板的半圆槽拼成的整圆直径小于单晶棒的直径，所述第一托板的一侧设有第一销轴，所述第一托板的另一侧铰接有第一连接件，所述第二托板的一侧铰接有第二连接件，所述第二连接件与第一托板的第一销轴配合，所述第二托板的另一侧设有第二销轴，所述第二销轴与第一托板的第一连接件配合。

优选的，所述连接杆下端分别与第一托板、第二托板焊接。

优选的，所述两个连接杆的结构相同，每个连接杆包括杆件和挂钩，所述挂钩为截面形状为L型的弧形板，所述挂钩上端面设有连接孔，所述连接孔与单晶炉副室下法兰盘上表面的定位销连接。

优选的，所述杆件为四根，均设有折弯，四根杆件分为两组，每组的两根相互平行，两组杆件的折弯相互对应。

优选的，所述挂钩上端面中间设有圆弧槽，上端面两端对应设有连接孔。

优选的，所述第一连接件和第二连接件的结构相同，结构均为一端带销孔，另一端设有开口向下的U型槽。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：通过分体式设计托晶盘，利用连接杆上端的挂钩可将装置悬挂在单晶炉副室下法兰盘上，第一托板与第二托板的半圆槽拼成的整圆直径小于单晶棒的直径，便于将单晶棒托住，打开托盘两侧的第一连接件和第二连接件，即可轻松将单晶棒下放取出；操作时分别手持第一托板和第二托板完成装置的悬挂和拆卸，降低了操作难度系数，保证了操作人员的人身安全，并能够有效的保护单晶棒，防止单晶棒掉落而摔坏。本实用新型具有结构简单、操作方便、便于维护的优点，可避免了操作人员受到人身伤害，降低了操作的难度和高度，更有利于保护单晶棒。

附图说明

图1是本实用新型的一个实施例的主视图；

图2是图1的俯视图；

图3是图1的左视图；

图4是第一连接件和第二连接件的结构示意图；

图中：1-托盘，2-连接杆，3-单晶炉副室下法兰盘，11-第一托板，12-第二托板，13-第一销轴，14-第一连接件，15-第二连接件，16-第二销轴，17-销孔，18-U型槽，21-杆件，22-挂钩，23-连接孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。