[实用新型]一种半导体激光器巴条的器件性能测量装置

权利要求书

1.一种半导体激光器巴条的器件性能测量装置，其特征在于，包括快轴准直微透镜（1），所述快轴准直微透镜（1）前面设置有分光板（2），所述分光板（2）的两侧分别设置有巴条弯曲度及近场光强分布测试模块和巴条空间光谱分布测试模块，所述巴条弯曲度及近场光强分布测试模块和所述巴条空间光谱分布测试模块都和计算机（11）连接。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器巴条的器件性能测量装置，其特征在于，所述巴条弯曲度及近场光强分布测试模块包括第一慢轴准直透镜（301），第一成像透镜（401）和第一CCD相机（501），所述第一慢轴准直透镜（301）设置在所述分光板（2）的一侧，所述第一慢轴准直透镜（301）前面设置有所述第一成像透镜（401），所述第一成像透镜（401）前面设置有所述第一CCD相机（501），所述第一CCD相机（501）和所述计算机（11）连接。

3.根据权利要求1所述的半导体激光器巴条的器件性能测量装置，其特征在于，所述巴条空间光谱分布测试模块包括第二慢轴准直透镜（302），所述第二慢轴准直透镜（302）设置在所述分光板（2）的另一侧，所述第二慢轴准直透镜（302）前面设置有可调节吸收式衰减片（6），所述可调节吸收式衰减片（6）前面设置有第一反射镜（701），所述第一反射镜（701）前面设置有第二反射镜（702），所述第二反射镜（702）前面设置有分光镜（8），所述分光镜（8）前面设置有长波长透射模块和短波长反射模块，所述短波长反射模块包括第一分光棱镜（901），所述第一分光棱镜（901）前面设置有第二成像透镜（402），所述第二成像透镜（402）前面设置有第一遮光筒（1001），所述第一遮光筒（1001）前面设置有第二CCD相机（502），所述第二CCD相机（502）与所述计算机（11）连接，所述长波长透射模块包括第三反射镜（703），所述第三反射镜（703）前面设置有第二分光棱镜（902），所述第二分光棱镜（902）前面设置有第三成像透镜（403），所述第三成像透镜（403）前面设置有第二遮光套筒（1002），所述第二遮光套筒（1002）前面设置有第三CCD相机（503），所述第三CCD相机（503）与所述计算机（11）连接。