[实用新型]一种液体材料等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201320809448.9 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN203588973U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 液体 材料 等离子体 处理 装置 | ||
1.一种液体材料等离子体处理装置，其特征在于，包括处理腔和等离子体喷枪，所述处理腔任一侧壁上端设置有进液口，下端设置有进气口，所述处理腔对应侧壁上端设置有出气口，下端设置有出液口，所述处理腔内水平设置有气体分布板，所述出液口、所述出气口和所述进液口分别设置于所述气体分布板上方，所述进气口设置于所述气体分布板下方，所述等离子体喷枪头端与所述进气口连接。
2.根据权利要求1所述的液体材料等离子体处理装置，其特征在于，所述处理腔为绝缘处理腔。
3.根据权利要求1所述的液体材料等离子体处理装置，其特征在于，所述等离子体喷枪包括高频电源、阳极套管和阴极，所述阴极设置于所述阳极套管中间，所述阳极套管和阴极分别连接到高频电源的正、负极，所述阳极套管与所述阴极之间设置有用于反应气体电离的气体反应腔。
4.根据权利要求3所述的液体材料等离子体处理装置，其特征在于，所述阳极套管中还设置有水冷层，所述水冷层包括设置于所述阳极套管中的通道层和延伸设置于所述阳极套管头部的外夹水冷层。
5.根据权利要求3所述的液体材料等离子体处理装置，其特征在于，所述阴极末端设置有防止所述阴极末端与所述阳极套管放电的绝缘层。
6.根据权利要求3所述的液体材料等离子体处理装置，其特征在于，所述高频电源的频率范围为10kHz—100kHz。
7.根据权利要求1-6任一所述的液体材料等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于冷却反应气体的冷却箱和用于收集液体材料的液体收集箱，所述冷却箱与所述出气口连接，所述液体收集箱一端与所述冷却箱连接，另一端与所述进液口连接。
8.根据权利要求1-6任一所述的液体材料等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于循环处理的循环腔，所述循环腔一端与所述出液口连接，另一端与所述进液口连接。
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