[实用新型]极紫外光刻反射式光学元件温控装置

权利要求书

1.一种极紫外光刻反射式光学元件温控装置，包括测温单元、控制单元和冷却单元，测温单元用于检测极紫外光刻反射式光学元件(11)的温度分布或热变形，为控制单元提供决策依据；控制单元用于接收测温单元传输的实时监测数据，将控制命令发送给冷却单元；冷却单元用于根据控制单元发出的控制命令可控地对极紫外光刻反射式光学元件进行冷却，其特征在于：所述冷却单元包括环路热管(23)，所述环路热管(23)包括用于传递所述光学元件(11)产生的热量的柔性管路(23b)，该柔性管路还用于隔绝由液冷系统(27)产生的振动传递至所述光学元件(11)。

2.如权利要求1所述的极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其特征在于：所述柔性管路(23b)是细长而有柔性的光滑管道。

3.如权利要求1所述的极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其特征在于：所述环路热管(23)还包括蒸发器(23a)和冷凝器(23c)，

4.如权利要求3所述的极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其特征在于：所述冷却单元还包括扩热板(22)，所述扩热板(22)安装在所述光学元件(11)的底部，用于均匀化所述光学元件(11)的温度和强化导热，所述环路热管(11)的蒸发器(23a)与该扩热板(22)连接。

5.如权利要求3所述的极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其特征在于：所述冷却单元还包括半导体制冷器(24)，所述半导体制冷器(24)具有冷端和热端。

6.如权利要求3所述的极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其特征在于：所述冷却单元还包括冷却套(26)和液冷系统(27)。

7.如权利要求3所述的极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其特征在于：所述控制单元为控制器(25)，所述半导体制冷器(24)、控制器(25)以及冷却套(26)置于全金属密封的真空密封件(28)内。