[实用新型]一种用于激光剥蚀固体的样品池有效

专利信息
申请号: 201320800559.3 申请日: 2013-12-06
公开(公告)号: CN203672702U 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 金献忠;张建波;谢健梅;陈建国 申请(专利权)人: 宁波检验检疫科学技术研究院
主分类号: G01N1/44 分类号: G01N1/44
代理公司: 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 代理人: 邱积权
地址: 315012 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 激光 剥蚀 固体 样品
【权利要求书】:

1.一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于样品池包括具有样品摆放台的塞入体和下端开口的固定筒体,所述的样品摆放台位于塞入体的上端,所述的固定筒体的上方有一个对激光波长是透明的窗口,该窗口允许激光能量穿过并聚焦到样品表面,所述的塞入体从固定筒体的下端开口部塞入,使所述的固定筒体内形成一个密闭空腔,所述的样品摆放台位于所述的密闭空腔内,所述的固定筒体上设置有与所述的密闭空腔相通的进气口和出气口。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于所述的塞入体包括一体设置的底座和螺杆,所述的固定筒体的下端为螺纹孔,所述的螺杆与所述的螺纹孔配合,所述的底座位于所述的固定筒体下方。

3.根据权利要求2所述的一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于所述的样品摆放台位于密闭空腔的中间,所述的样品摆放台与固定筒体的内壁之间具有环形间隙,所述的进气口对准所述的样品摆放台的侧壁,所述的出气口靠近所述的窗口。

4.根据权利要求3所述的一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于所述的固定筒体外设置有环状安装板,所述的环状安装板位于进气口以下位置,所述的环状安装板位置处的固定筒体上设置进样通道。

5.根据权利要求4所述的一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于所述的窗口为石英窗口,所述的石英窗口呈倾斜状固定在固定筒体的上端,所述的石英窗口的倾斜角度为8度-12度。

6.根据权利要求5所述的一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于所述的螺杆上设置有一台阶,所述的螺纹孔与所述的密闭空腔之间设置有挡壁,所述的台阶上设置有密封圈,所述的密封圈紧靠在所述的挡壁上。

7.根据权利要求1所述的一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于所述的塞入体和所述的固定筒体采用材料为聚四氟乙烯。

8.根据权利要求1所述的一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于所述的密闭空腔的体积约为8 cm3

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