[实用新型]一种高频高压低温等离子体发生器

权利要求书

1.一种高频高压低温等离子体发生器，包括工频整流滤波电路、直流斩波电路、高频逆变电路、滤波电路及高频升压电路和控制电路组成，其特征在于，所述控制电路与主电路之间还包含隔离驱动电路，其中，

逆变控制电路位于左侧下方，隔离变压器位于逆变控制电路的上方左侧，高频升压变压器位于所述低温等离子体发生器的右侧，整流滤波电路位于所述逆变控制电路的上方右侧，以减少干扰对控制电路的影响。

2.根据权利要求1所述的高频高压低温等离子体发生器，其特征在于，所述整流滤波电路和高频逆变电路之间还连接有直流斩波电路用以获得稳定可调的从0伏开始的直流电源。

3.根据权利要求1所述的高频高压低温等离子体发生器，其特征在于，所述控制电路中包含过流保护电路和过压保护电路，可通过DIP开关选择工作模式，对电源进行过电压和过电流保护。

4.根据权利要求1所述的高频高压低温等离子体发生器，其特征在于，所述的高频升压变压器上安装了温控元件，控制外壳上的散热风扇运行，并提供温度报警保护。

5.根据权利要求1所述的高频高压低温等离子体发生器，其特征在于，所述控制电路中提供了电位器旋钮和DIP选择开关，可自由调节电压频率和选择保护模式。

6.根据权利要求1所述的高频高压低温等离子体发生器，其特征在于，所述高频升压电路中采用双高频升压变压器的方式，两个高频升压变压器对称安装，既提高了可输出直流的电压、电流调节范围，又均匀了散热能力。

7.根据权利要求1所述的高频高压低温等离子体发生器，其特征在于，所述主电路中，开放了高频升压变压器的连接，可根据需要改变高频升压变压器的串、并联结构调整输出的电压和电流。