[实用新型]晶圆研磨液管路式超音波震匀设备有效
| 申请号： | 201320797191.X | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN203725092U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 吴濬宇;曾义能 | 申请（专利权）人： | 宸沅国际股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F11/02 | 分类号： | B01F11/02 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 崔钢 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 管路 超音波 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆研磨液管路式超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为由至少一槽管体层竖设包围的封闭筒件，而封闭筒件内部中央的槽管体为上端横伸出出液管下端横伸出入液管，且管底端封闭的竖直震匀槽管，使入液管由下端通入竖直震匀槽管内空间，而出液管由上端通入竖直震匀槽管内空间，使晶圆研磨原液加水经入液管进入竖直震匀槽管内空间，其特征在于：竖直震匀槽管顶端管口架框套塞一单频超音波震荡头，且使单频超音波震荡头发震端固接一传导棒，棒端垂伸入竖直震匀槽管内空间。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨液管路式超音波震匀设备，其特征在于，所述出液管上附设有过滤器。
3.根据权利要求1所述的晶圆研磨液管路式超音波震匀设备，其特征在于，所述竖直震匀槽管的槽壳壁，为耐酸金属胎料的壳本体，内面涂上一铁氟龙层，且外面涂一层PP层的复合层壁。
4.根据权利要求1所述的晶圆研磨液管路式超音波震匀设备，其特征在于，所述封闭筒件竖设的槽管体，除中央的竖直震匀槽管外，复于竖直震匀槽管周围全面包竖一包密外槽管，于包密外槽管朝向竖直震匀槽管的槽内面各处槽间缝隙，铺设塞满泡绵。
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