[实用新型]钛合金表面改性的等电位针状阴极辉光放电发生装置

权利要求书

1.一种钛合金表面改性的等电位针状阴极辉光放电发生装置，其特征在于，包括空心罩体，所述空心罩体内设有两列阵列式针状阴极，所述空心罩体放于底板上，所述底板置于直流脉冲渗金属设备的阴极架上；

所述空心罩体、底板及阴极架共同置于所述直流脉冲渗金属设备的腔体内，直流脉冲电源的负极与所述阴极架连接，所述直流脉冲电源的正极与所述腔体连接并接地；

所述空心罩体的一侧开有圆孔，所述腔体的侧壁对应所述圆孔的部位设有透明窗，正对所述透明窗的部位设有红外测温仪；

所述腔体的下壁设有进气口和出气口。

2.根据权利要求1所述的钛合金表面改性的等电位针状阴极辉光放电发生装置，其特征在于，所述空心罩体内设有一横梁，所述阵列式针状阴极悬挂在所述横梁上。

3.根据权利要求2所述的钛合金表面改性的等电位针状阴极辉光放电发生装置，其特征在于，所述空心罩体及其底板的材料为碳钢，所述腔体的材料为不锈钢，所述的阵列式针状阴极的材料为钨或钼或钨钼合金或石墨。

4.根据权利要求3所述的钛合金表面改性的等电位针状阴极辉光放电发生装置，其特征在于，所述的针状阴极的直径为Φ5～Φ10mm，相邻的针状阴极之间的距离为5～15mm。

5.根据权利要求1至4任一项所述的钛合金表面改性的等电位针状阴极辉光放电发生装置，其特征在于，所述进气和出气口分别连接供气系统和抽气系统；

所述两列阵列式针状阴极之间放置待渗工件，所述待渗工件与所述针状阴极之间的间距为5～15mm。