[实用新型]一种探测特殊气体遥控车有效

专利信息
申请号: 201320778034.4 申请日: 2013-11-29
公开(公告)号: CN203811590U 公开(公告)日: 2014-09-03
发明(设计)人: 倪立华 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 探测 特殊 气体 遥控
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于自动控制装置,涉及电气自动化技术和计算机软件技术,尤其是一种探测特殊气体遥控车。 

背景技术

随着半导体制造技术的发展,半导体的制造工艺也越来越复杂。使用到的特殊复杂气体的种类也越来越复杂,然而在半导体的生产环境中,人生安全和环境安全非常重要,为了防止意外事故的发生,第一时间做出判定和处理的对策非常重要. 

传统的做法是分区域在不同的地方设置相当数量的探测器,然而每种探测器只能探测一种气体,不能灵活改变,对不明气体无法检测,且传统方式硬件投入成本相当高。而现在这种特殊气体探测遥控移动装置在装置内部集成了晶圆工厂中使用的各种特殊气体的探测模块,如果现场发生气体泄漏,可以远程遥控该装置到现场,通过内部的各种气体的探测模块,迅速的探测出发生泄漏气体的种类。 

并且,该装置还能够对不明气体进行采集,通过内部气体分析单元,对不明气体的分子量进行采样比较,通过内部嵌入的软件系统,计算出该未知气体的分子量,然后匹配出相近或相同的特殊气体名称,针对这种气体采取相应的处理方案。而传统的单一气体采集模块,只能针对单一的气体进行采集,对不明气体不能做出响应和判断。 

将现有工业控制的技术搭载在该装置上,通过特有的软件整合,和外加专用的模块实现远程遥控功能,并可视化现场状态。对于特殊场合和不明气体的场所,在不知气体种类的情况下,人员不能冒昧进入泄漏现场,会对人生安全造成危险,通过可视化界面,根据现场的情况,调整装置的移动方向和位置,并通过现有无线技术的应用,将现场的情况和检测气体的相关信息传输在远程的手持操作终端。现有的技术都是将检测器安装在固定的区域,在不知的情况下,需要人员 预先到现场去处理,存在一定的危险性。 

发明内容

本实用新型提出了一种探测特殊气体遥控车,解决在了在发生事故的现场,第一时间通过预设探测器,自动识别泄漏气体的种类,并第一时间做出判断,找出泄漏点.并且本实用新型可遥控移动,能对无安装固定探测器的区域及对人员有危险的区域进行探测,本实用新型内的探测器的探测模块可根据需求灵活组合使用,大大降低成本。 

一种探测特殊气体的遥控车,包括一车体,其中,所述车体的车头上设有一吸气口,吸气口和一探测器相连接,探测器固定在车体内部底面上,探测器还与一出气口相连,连通至车体底部,一控制系统和探测器相连,所述控制系统固定在所述出风管道的上方的车体上,所述车体上表面设有一可视化控制面板,通过一无线遥控终端可以接收控制系统的信息并控制所述遥控车, 

其中,所述探测器包括若干个不同的探测模块,所述探测模块并联排列且每个探测模块仅用于探测一种气体, 

所述车体内部还设有一供电系统,供电给整个所述遥控车。 

上述一种特殊气体探测遥控移动装置,其中,所述吸气口内设置一风机,所述风机吸取气体进入所述吸气口经过所述探测器。 

上述一种特殊气体探测遥控移动装置,其中,所述可视化面板背面设有支撑装置。 

上述一种特殊气体探测遥控移动装置,其中,所述控制系统内部设置有一处理器,预警信号采集器及无线发射模块。 

上述一种特殊气体探测遥控移动装置,其中,所述供电系统通过连接线和外界220v电源电压相连。 

上述一种特殊气体探测遥控移动装置,其中,所述供电系统内部设有整流器,斩波器,逆变器,蓄电池。 

上述一种特殊气体探测遥控移动装置,其中,所述车体采用不锈钢材料,同时所述车体表面经过防静电喷塑处理。 

本实用新型具有如下技术优势: 

1.本实用新型具有遥控功能,可远距离控制,为危险场合的探测提供了保障,保障人生安全。 

2.本实用新型的探测模块可根据需求灵活增减组合,大大降低成本。 

3.本实用新型同时具有防震功能,对价格昂贵的部件运输起到保护作用。 

4.本装置外形采用不锈钢材料制成,同时表面经过防静电喷塑处理,使小车美观,也保证了车的结构坚固牢靠,运输中不受到挤压变形。 

5.本装置不仅适用于半导体制造行业中,对于其它行业中需要多路移动式的特殊气体检测也可广泛使用. 

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中: 

图1为本实用新型一种探测特殊气体遥控车侧面剖视图; 

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