[实用新型]研磨手臂位置矫正器有效
申请号: | 201320776619.2 | 申请日: | 2013-11-29 |
公开(公告)号: | CN203680059U | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 赵振伟;张弢;蒋德念 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B24B53/017 | 分类号: | B24B53/017 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 手臂 位置 矫正 | ||
1.一种研磨手臂位置矫正器,其特征在于,包括相互平行的上臂和下臂,立臂的两端分别垂直连接于所述上臂的一端和所述下臂的一端,所述上臂、所述下臂和所述立臂共同构成一凹形结构;其中,所述上臂的上表面内嵌一个水平气泡,所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的触点,且该两触点之间的连线与所述立臂的延展方向平行。
2.如权利要求1所述研磨手臂位置矫正器,其特征在于,所述立臂所在垂直平面与所述上臂和所述下臂在同垂直平面上。
3.如权利要求1所述研磨手臂位置矫正器,其特征在于,所述触点长短一致。
4.如权利要求1所述研磨手臂位置矫正器,其特征在于,所述气泡内嵌于所述上臂上表面,用于检测和矫正。
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