[实用新型]一种微波受激等离子体增强化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种微波受激等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于：包括有反应室（1），在所述的反应室（1）上连接有等离子体激发室（2），在所述等离子体激发室（2）上连接有等离子管（3），在所述等离子管（3）上连接有波导管（4），在所述的波导管（4）上设有磁体（5），在所述的等离子管（3）上连接有第一反应气体进气管（6），在所述的反应室（1）内设有基片加热器（7），所述的反应室（1）与抽真空装置相连接，在所述的反应室（1）上连接有第二反应气体进气管（8）。 

2.根据权利要求1所述的一种微波受激等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于所述的磁体（5）为套设在波导管（4）上的电磁线圈。 

3.根据权利要求1所述的一种微波受激等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于在所述的第一反应气体进气管（6）上设有控制阀（9）。 

4.根据权利要求3所述的一种微波受激等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于在所述的第一反应气体进气管（6）上分别连接有氮气进气管（10），氧气进气管（11）和氩气进气管（12）。 

5.根据权利要求1所述的一种微波受激等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于在所述的第二反应气体进气管（8）上设有控制阀（9）。 

6.根据权利要求1所述的一种微波受激等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于在所述反应室（1）上设有真空泵连接管（13），所述的抽真空装置通过真空泵连接管（13）与反应室（1）相连接。 

7.根据权利要求1所述的一种微波受激等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于等离子体激发室（2）为石英管。