[实用新型]一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉光一种硅基太阳能电池领域，具体是一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置。

背景技术

太阳能电池，也称光伏电池，是一种太阳能的光能直接转化为电能的半导体器件。由于他是绿色的环保产品，不会引起环境污染，而且是可再生资源，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池是一种有广阔发展前途的新型能源。

随着扩散方阻的不断提高，现有炉管扩散方式的均匀性已经很差，不能满足目前的产线需求。普通扩散石英舟是硅片与炉管进气气流方向呈90°角，这种扩散方式呈现出的方阻趋势是中间高，边缘低，随着扩散方阻的不断升高，中心方阻与边缘方阻的差异越来越大，所以本实用新型提出，通过改变硅片扩散方向来提升扩散方阻均匀性。

实用新型内容

实用新型目的：针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种结构简单，工作稳定可靠，有效提高阻片内均匀性的进气炉管。

技术方案：本实用新型所述的一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置，它包括：进气装置、石英管、排废管、匀流板和石英舟，所述的石英管上固设有进气装置，石英管的底部设有排废管，排废管的上部设有匀流板，匀流板的右部设有石英舟；

所述的石英舟由舟齿、舟板和舟底杆组成，舟板通过和舟底杆上设有的舟齿固设在舟底杆上。

所述的进气装置上设有进气口。

所述的匀流板上设有孔。

所述的排废管的一端为排废入口端，排废管的另一端与排废装置相连。

有益效果：本实用新型所述的一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置，与现有技术相比，具有以下优点：

（1）片内方阻梯度减小：减少硅片片内方阻梯度，提高扩散方阻的片内均匀性；

（2）改善印刷后的接触电阻：通过改善扩散后硅片方阻的均匀性，减小印刷烧结后接触电阻的大小，从而提升电池片效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为进气石英舟的剖视图；

图3为进气石英舟的左视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

本实用新型提供一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置，它包括：进气装置1、石英管2、排废管3、云流板4和石英舟5。

石英管2上固设有进气装置1，石英管2的底部设有排废管3，排废管3的上部设有云流板4，匀流板4的右部设有石英舟5；所述的石英舟5由舟齿51、舟板52和舟底杆53组成，舟板52通过和舟底杆53上设有的舟齿51固设在舟底杆53上，所述的进气装置1上设有进气口11，所述的匀流板4上设有孔41，所述的排废管3的一端为排废入口端31，排废管3的另一端与排废装置相连。

当进气装置1启动后，气流从进气口11进入石英管2，并穿过匀流板4上设有孔41，由于石英舟5上设有的硅片与进气气流方向呈180°，从而使得硅片扩散方阻片内的方阻梯度，来改善方阻片内均匀性，因此，气流从进气口11进入排废管3并从排废装置中排出。