[实用新型]一种带节流阀的多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种带节流阀的多晶硅铸锭炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体分为上炉体（17）和下炉体（11），所述炉体包括炉壁（1）及安装于炉壁（1）内部的石墨热场，所述炉壁（1）分为内外两层，两层炉壁（1）之间通有冷却水，所述炉壁（1）分为上炉壁和下炉壁，所述下炉壁的底部设有下炉壁冷却水进水口（12），侧面设有下炉壁冷却水出水口（14），所述上炉壁的侧面设有上炉壁冷却水进水口（15）和上炉壁冷却水出水口（16），所述上炉壁冷却水出水口（16）的位置高度高于所述上炉壁冷却水进水口（15）的高度，所述下炉壁冷却水进水口（12）和上炉壁冷却水进水口（15）分别设有调节冷却水流量的下炉体节流阀（13）和上炉体节流阀（16）。

2.根据权利要求1所述的带节流阀的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述下炉体节流阀（13）、上炉体节流阀（16）为球阀或插板阀。

3.根据权利要求1所述的带节流阀的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述所述下炉体节流阀（13）、上炉体节流阀（16）通过手动调节或电脑自动控制。

4.根据权利要求1所述的带节流阀的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述石墨热场水平方向从上至下依次设有上隔热层（2）、顶加热器（3）、热交换台（8）、下隔热板（10），所述热交换台（8）底部对称设有热交换台支柱（9），所述热交换台支柱（9）穿过所述下隔热板（10）连接于炉壁（1）的底部，所述热交换台（8）顶部设有凹形的石英坩埚（4），所述石英坩埚（4）外部设有石墨护板（7），所述顶加热器（3）水平设于所述石英坩埚（4）和上隔热层（2）之间，所述上隔热层（2）的四周设有向热交换台（8）方向竖直延伸的侧隔热层（6），所述侧隔热层（6）与石墨护板（7）之间设有侧加热器（5）。