[实用新型]一种粉体材料表面等离子体处理装置

权利要求书

1. 一种粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，包括反应腔、电极组件、电源和气体分布板，所述反应腔顶部设置有用于抽真空的抽气口，所述反应腔底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述反应腔内设置有反应腔室，所述电极组件和气体分布板设置于所述反应腔室内，所述电极组件设置于所述气体分布板上方，所述气体分布板上设置有若干用于反应气体进入的气孔，所述电极组件与所述电源电连接。

2. 根据权利要求1所述的粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述电极组件为包裹于所述反应腔外壁体上的环形电极。

3. 根据权利要求1或2所述的粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于排气的气泵，所述气泵与所述抽气口连接，气泵与抽气口之间还设置有过滤器。

4. 根据权利要求3所述的粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于提供反应气体的气源，所述气源与所述气体入口连接。