[实用新型]一种石墨框

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石墨框，可以应用于太阳能电池生产过程中的PECVD设备，属于太阳能领域。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。因此，太阳能电池组件得到了世界各国的广泛关注和开发。

现有技术中，在太阳能电池的制备过程中，一般需要对硅片发射结面进行镀减反射膜的步骤。目前，氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时也起到表面钝化和体内钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。

目前，制备氮化硅薄膜一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法，如可以采用德国ROTH&RAU公司的PECVD设备。在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中，需要使用一种承载硅片的石墨框。

现有的石墨框参见附图1~4所示，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载板2，构成复数个石墨框网格1；考虑到硅片装载时的方便，其网格的尺寸要比要承载的硅片尺寸略大一些；例如，以目前通用的156型（156×156mm）硅片而言，网格通常为158×158mm的直孔，同时在网格的四边上均匀分布有多个挂钩3，用来承载硅片，以防止硅片掉下去。工作时，硅片水平放置在石墨框网格中，对硅片的下表面进行镀膜。为了进一步增加产量，降低太阳能电池的成本，将原有的每个石墨框的承载量由25片改为30片（如图1、2所示）。然而，上述结构的石墨框的上下两侧边缘就很窄，也较软，在使用过程中容易发生变形。

针对上述问题，现有的方法是在石墨框的上下两侧边缘处设置石墨固定板4，如采用石墨纤维板，一般长度900 mm，宽度15~20 mm之间，如图3、4所示，石墨框的上下两侧边缘处具有凸块7，石墨固定板上设有与凸块配合的卡槽8，两者卡固连接。

然而，实际应用发现，上述石墨固定板（石墨纤维板）存在如下问题：(1) 石墨固定板在使用过程中不能提高镀膜速度，如果镀膜速度变快，卡槽下面的石墨纤维板对气流的均匀性影响很大，会使该石墨纤维板边缘的电池片发红，硅片色差严重；(2) 由于石墨框经常需要进行清洗操作，而和石墨框配合连接的石墨固定板在清洗过程中极易损坏，需要更换，增加了成本。又由于石墨框本身成本很贵，如果更换其它设计的新石墨框，成本费用更高。因此，开发一种低成本、且适合工业化应用的承载硅片镀膜的石墨框，具有积极的现实意义。

发明内容

本实用新型目的是提供一种石墨框。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种石墨框，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载板，构成复数个石墨框网格；所述石墨框的上下两侧边缘处设有碳纤维加强板；所述碳纤维加强板的厚度和石墨框本体的厚度相同；碳纤维加强板通过连接件与所述石墨框本体固定连接。

上述技术方案中，所述石墨框的上下两侧边缘处具有凸块，所述碳纤维加强板上设有与凸块配合的卡口。

上述技术方案中，所述碳纤维加强板的两端设有螺孔，石墨框本体上距离所述螺孔相邻的地方也设有第二螺孔，相邻的螺孔和第二螺孔通过上、下夹片和螺栓实现固定连接。

上、下夹片的大小优选相同。

优选的，所述下夹片为碳纤维片。

优选的，所述上夹片为碳纤维片或不锈钢片。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

1、本实用新型设计得到了一种新的石墨框结构，将现有的石墨固定板更换成碳纤维加强板，由于碳纤维加强板的厚度与石墨框本体的厚度相同，因而在安装之后，碳纤维加强板与石墨框本体位于同一平面，既起到了支撑的作用，同时也避免了现有技术中的石墨固定板对镀膜气流均匀性的影响而导致的发红发白现象，保证了电池片镀膜的品质。

2、本实用新型将碳纤维加强板与石墨框本体固定在一起，两者之间的结合度较好，在清洗过程中可以避免碳纤维加强板的损坏，节约了成本。

3、本实用新型结构简单，便于制备，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。

附图说明

图1是背景技术中的石墨框的俯视图；

图2是背景技术中的石墨框的主视图；

图3是背景技术中石墨固定板的主视图；

图4是背景技术中石墨固定板和石墨框的组装示意图；

图5是本实用新型实施例一中碳纤维加强板的主视图；

图6是本实用新型实施例一中上夹片的结构示意图；