[实用新型]单晶硅用水供给系统

说明书

技术领域

本实用新型涉一种单晶硅用水供给系统。

背景技术

在冶金、石化、电子行业中，产品生产的原料用水、工艺用水或成品冲洗用水若直接采用原水或一般处理工艺，不能满足需求。针对这些行业用水量大、水质要求高的情况，必须对原水进行相应的处理。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种单晶硅用水供给系统，本实用新型能够提高原水的水质，适用于水质要求高的工业生产行业。

解决上述技术问题的技术方案如下：

单晶硅用水供给系统，包括多介质过滤器、活性碳过滤器、水质软化器、一级RO装置、中间水箱、连续电子除盐装置以及总有机碳分析仪，多介质过滤器的输出端与活性碳过滤器的输入端连接，活性碳过滤器的输出端与水质软化器的输入端连接，水质软化器的输出端与一级RO装置的输入端连接，一级RO装置的输出端与中间水箱的输入端连接，中间水箱的输出端与连续电子除盐装置的输入端连接，连续电子除盐装置的输出端与总有机碳分析仪的输入端连接。

还包括氮气保护水箱、微孔过滤器，氮气保护水箱的输入端连接于连续电子除盐装置的输出端，氮气保护水箱的输出端与微孔过滤器的输入端连接。

还包括一个精混床，该精混床连接于氮气保护水箱和微孔过滤器之间。

采用了上述方案，本实用新型通过多介质过滤器、活性碳过滤器、水质软化器、一级RO装置、连续电子除盐装置对原水进行处理后，使得水质大幅度得到提高，能够满足单晶硅生产的需求。

本实用新型不但满足单晶硅的生产，而且还适用于涂装、药品、精密电子、光伏电子、表面清洗等水质要求极高的工业生产行业也同样适用，具有应用范围广的特点。

附图说明

图1为本实用新型的单晶硅用水供给系统的结构示意图；

附图中，1为多介质过滤器，2为活性碳过滤器，3为水质软化器，4为一级RO装置，5为中间水箱，6为连续电子除盐装置，7为总有机碳分析仪，8为氮气保护水箱，8为微孔过滤器，9为微孔过滤器，10为精混床。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

参照图1，本实用新型的单晶硅用水供给系统，包括多介质过滤器1、活性碳过滤器2、水质软化器3、一级RO装置4、中间水箱5、连续电子除盐装置6以及总有机碳分析仪7。多介质过滤器1的输出端与活性碳过滤器2的输入端连接，活性碳过滤器2的输出端与水质软化器3的输入端连接，水质软化器3的输出端与一级RO装置4的输入端连接，一级RO装置4的输出端与中间水箱5的输入端连接，中间水箱5的输出端与连续电子除盐装置6的输入端连接，连续电子除盐装置6的输出端与总有机碳分析仪7的输入端连接。还包括氮气保护水箱8、微孔过滤器9，氮气保护水箱8的输入端连接于连续电子除盐装置7的输出端，氮气保护水箱8的输出端与微孔过滤器9的输入端连接。还包括一个精混床10，该精混床10连接于氮气保护水箱8和微孔过滤器9之间。