[实用新型]一种定向凝固法准单晶硅生长炉有效
| 申请号： | 201320753560.5 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN203613300U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 苏文佳;左然 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 定向 凝固 单晶硅 生长 | ||
1.一种定向凝固法准单晶硅生长炉，包括石英坩埚（4）、石墨坩埚（3）、碳碳复合材料顶部盖板（6）和DS块（2），其特征在于，所述DS块（2）与所述石墨坩埚（3）底面贴合，所述DS块（2）上开有若干氩气冷却通孔（12），所述DS块（2）与所述石墨坩埚（3）贴合的一面上开有氩气流道（13），所述氩气流道（13）与所述各个氩气冷却通孔（12）连通，所述DS块（2）的另一面上安装有氩气冷却进口管（1），所述氩气冷却进口管（1）与所述氩气冷却通孔（12）配合连接；所述石英坩埚（4）底部开有若干籽晶凹槽（11），所述籽晶凹槽（11）的中心轴线与所述氩气冷却通孔（12）的中心轴线共线。
2.根据权利要求1所述的一种定向凝固法准单晶硅生长炉，其特征在于，所述籽晶凹槽（11）沿所述石英坩埚（4）的中心轴线对称分布在所述石英坩埚（4）底部。
3.根据权利要求1所述的一种定向凝固法准单晶硅生长炉，其特征在于，所述氩气冷却通孔（12）的形状、大小与所述石英坩埚（4）底部的籽晶凹槽（11）保持一致。
4.根据权利要求1或2所述的一种定向凝固法准单晶硅生长炉，其特征在于，所述石墨坩埚（3）的开口边缘开有若干凹槽，所述碳碳复合材料顶部盖板（6）和所述凹槽共同构成石墨坩埚顶部侧排气口（9）
根据权利要求1或2所述的一种定向凝固法准单晶硅生长炉，其特征在于，所述籽晶凹槽（11）的形状为圆形或三角形或多边形。
5.根据权利要求1或2所述的一种定向凝固法准单晶硅生长炉，其特征在于，所述DS块（2）与所述石墨坩埚（3）贴合的一面上开设的氩气流道（13）的横截面形状为三角形或多边形或弧形。
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