[实用新型]一种金属钯或钯合金复合膜氢气纯化器

权利要求书

1.一种金属钯或钯合金复合膜氢气纯化器，包括手动控制阀门、气动控制阀门、纯化组件、浮子流量计、质量流量控制器、真空泵、压力传感器、单向阀、阻火器； 

其特征在于： 

纯化组件（P1）原料气进气管的进气端与单向阀（C1）的一端相连，单向阀（C1）的另一端经过三通分别与手动控制阀（V3）和气动控制阀（V8）的一端相连； 

气动控制阀（V8）的另一端依次经质量流量控制器（MFIC01）、原料氢手动控制阀（V4）与原料氢源相串联； 

手动控制阀（V3）的另一端与浮子流量计（FI02）的一端相连，浮子流量计（FI02）的另一端经过三通分别与氮气手动控制阀（V2）的一端和浮子流量计（FI01）进气端相连；氮气手动控制阀（V2）的另一端与氮气源相连； 

纯化组件（P1）渗余气出气管的出气端设有压力传感器（PT02），纯化组件（P1）渗余气出气管的出气端与质量流量控制器（MFIC02）进气端相连， 

质量流量控制器（MFIC02）出气端经过管路分别与不合格产品氢手动控制阀（V6）的出气端、真空泵（SC01）的出气端、阻火器（FA01）的进气端相连， 

质量流量控制器（MFIC02）出气端和进气端经尾气手动控制阀(V7)通过管路相连； 

纯化组件(P1)渗透气出气管的出气端设有压力传感器（PT01），纯化组件(P1)渗透气出气管的出气端经过管路分别与产品氢气动控制阀（V9）、抽真空气动控制阀(V10)和不合格产品氢手动控制阀（V6）的进气端相连，产品氢气动控制阀（V9）出气端与产品氢外接收集管路相连，抽真空气动控制阀（V10）出气端与真空泵（SC01）的进气端相连；阻火器（FA01）的出气端放空； 

纯化组件（P1）内多通道金属钯复合膜氢气分离器的分离器壳体一端设有吹扫气进口、吹扫气用于吹扫钯膜组件外壁，吹扫气通过渗透气出气管流出； 

吹扫气进口依次经吹扫气手动控制阀（V1）、浮子流量计（FI01）、氮气手动控制阀（V2）与氮气源相连； 

压缩空气源作为动力源经压缩空气控制阀（V5）后通过管路分别与原料氢气动控制阀（V8）、抽真空气动控制阀（V10）与产品氢气动控制阀（V9）的驱动气端口相连。