[实用新型]一种静电放电机台的集成电路静电防护结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种静电放电机台，尤其是一种静电放电机台的集成电路静电防护结构。

背景技术

由于静电放电机台内部寄生电容及集成电路自身内阻的影响，造成集成电路的管脚上，在静电脉冲放电前，已经产生一个电势差。此电势差会造成部分静电防护电路在静电脉冲到来时，无法正常开启，来泄放电流，保护内部电路，以至于造成集成电路失效。如图1所示，为现有的静电模拟器的电路示意图，放电开关S1切换到充电电路端21，对放电电容C1做充电动作后，S1再次切换到放电电路端22，对待测器件(DUT)23做放电，从而完成一次完整的静电放电的动作。如图2所示，脉冲到达集成电路管脚之前，管脚上已经有一个电压存在。因此现今的静电测试机台，由于设计原因，无可避免的会产生内部寄生电容，如果无法消除，会造成测试结果偏离实际结果。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可以解决现有静电模拟测试机对于先进制程的集成电路测试时的寄生电容问题，以及使现有静电模拟测试机测试的结果更精确的静电放电机台的集成电路静电防护结构。

为实现上述技术效果，本实用新型公开了一种静电放电机台的集成电路静电防护结构，所述集成电路包括一充电电路和一放电电路，所述充电电路包括串联连接的一电源、一电源开关、一放电开关和一放电电容，所述放电电路包括串联连接的所述放电电容、所述放电开关和一待测器件，所述待测器件上并联连接有一防护电阻。

本实用新型进一步的改进在于，所述防护电阻的阻值为10千欧。

本实用新型进一步的改进在于，所述放电开关为一双控换向开关，包括一充电电路端和一放电电路端。

本实用新型进一步的改进在于，所述充电电路上还设有一充电电阻，所述充电电阻与所述电源串联连接。

本实用新型进一步的改进在于，所述放电电路上还设有一放电电阻，所述放电电阻与所述放电电容串联连接。

本实用新型由于采用了以上技术方案，使其具有以下有益效果是：通过在待测器件上并联连接一10千欧的防护电阻，形成一个旁路放电电路，消除待测器件管脚两端之间的电势差，解决了现有静电模拟测试机对于先进制程的集成电路测试时的寄生电容问题，使现有静电模拟测试机的测试结果更精确。

附图说明

图1是现有静电模拟器的电路示意图。

图2是现有静电模拟器的脉冲前电压曲线示意图。

图3是本实用新型一种静电放电机台的集成电路静电防护结构的电路示意图。

具体实施方式

下面结合附图以及具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

参阅图3所示，本实用新型的一种静电放电机台的集成电路静电防护结构，其中，集成电路包括一充电电路11和一放电电路12，充电电路11进一步包括串联连接的一电源13、一充电电阻191、一电源开关14、一放电开关15和一放电电容16，放电电路12进一步包括串联连接的放电电容16、放电开关14、一放电电阻192和一待测器件17。放电开关15为一双控换向开关，包括一充电电路端151和一放电电路端152，放电开关15切换到充电电路端151，对放电电容16做充电动作后，放电开关15切换到放电电路端152，对待测器件17做放电，从而完成一次完整的静电放电的动作。待测器件17上进一步并联连接有一防护电阻18，防护电阻18的阻值为10千欧，待测器件17并联到待测器件17管脚两端后，形成一个旁路放电电路，消除待测器件17管脚两端之间的电势差，从而有效提高集成电路静电防护电路的工作效率。

以上结合附图实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域中普通技术人员可根据上述说明对本实用新型做出种种变化例。因而，实施例中的某些细节不应构成对本实用新型的限定，本实用新型将以所附权利要求书界定的范围作为本实用新型的保护范围。