[实用新型]一种基于直线电机的运动同步精度检测装置

权利要求书

1.一种基于直线电机的运动同步精度检测装置，其特征在于：它至少包括被测同步运动模块、直线电机传动模块、检测模块、控制模块组成；

所述被测同步运动模块至少包括第一工作台(1)、第二工作台(1′)组成；

所述直线电机传动模块至少包括第一直线电机(2)、第二直线电机(2′)组成；

所述检测模块至少包括第一位移传感器(3)组成；

所述控制模块至少包括控制装置(4)组成。

2.根据权利要求1所述的一种基于直线电机的运动同步精度检测装置，其特征在于：所述被测同步运动模块的第一工作台(1)与直线电机传动模块的第一直线电机(2)连接；被测同步运动模块的第二工作台(1′)与直线电机传动模块的第二直线电机(2′)连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于直线电机的运动同步精度检测装置，其特征在于：所述直线电机传动模块的第一直线电机(2)的轴与第二直线电机(2′)的轴同轴安装或者平行安装，通过检测模块的第一位移传感器(3)检测由直线电机传动模块所驱动的被测同步运动模块的第一工作台(1)与第二工作台(1′)的同步误差。

4.根据权利要求1所述的一种基于直线电机的运动同步精度检测装置，其特征在于：所述检测模块还可以包括第二位移传感器(5)、第三位移传感器(5′)；所述检测模块的第二位移传感器(5)用于检测直线电机传动模块的第一直线电机(2)所驱动的被测同步运动模块的第一工作台(1)所移动的位置信息，检测模块的第三位移传感器(5′)用于检测直线电机传动模块的第二直线电机(2′)所驱动的被测同步运动模块的第二工作台(1′)所移动的位置信息。

5.根据权利要求1所述的一种基于直线电机的运动同步精度检测装置，其特征在于：所述控制模块的控制装置(4)接收检测模块的第一位移传感器(3)、第二位移传感器(5)、第三位移传感器(5′)的信号，并检测和控制直线电机传动模块的第一直线电机(2)、第二直线电机(2′)。