[实用新型]一种用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉有效
| 申请号： | 201320735467.1 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN203558858U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 李耀文;耿彩军;刘斌;张增玉;孙佳杰 | 申请（专利权）人： | 李耀文 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100071 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅烷 多晶 生产 节涌床式 分解 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉，其特征在于：包括一分解炉炉体；于所述分解炉炉体内设有一内衬层；于所述分解炉炉体的外表面包裹一层保温隔热棉；于所述保温隔热棉内设有一电加热器；所述分解炉炉体内的下端设布气板；于所述布气板上设有若干出气管。
2.如权利要求1所述的用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉，其特征在于：所述内衬层具体为碳化硅、氮化硅或金属硅内衬层。
3.如权利要求1所述的用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉，其特征在于：所述分解炉炉体包括扩大段和直筒段；所述电加热器位于直筒段外的保温隔热棉内。
4.如权利要求3所述的用于硅烷法多晶硅生产的节涌床式硅烷分解炉，其特征在于：所述扩大段由锥段，直筒和封头组成。
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