[实用新型]一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及一种检测三氯氢硅生产中合成炉尾气中不凝气含量的装置，属于三氯氢硅合成设备技术领域。

背景技术

三氯氢硅是生产多晶硅的重要原料，随着多晶硅在现代科技、国防、工业等领域的广泛应用，三氯氢硅的生产也得到了快速发展，提高产品质量、降低成本消耗、扩大生产能力、提高尾气回收利用率是进一步促进生产发展的目标。三氯氢硅生产工艺主要以沸腾氯化法为主，三氯氢硅合成工序是整个三氯氢硅生产中最重要的部分，反应器内最佳温度一般恒定在325℃左右，在正常反应过程中合成炉尾气是关闭的。由于很多企业的合成炉尾气与罐区尾气、塔的尾气、膜压机尾气及变压吸附尾气走一根管道，只能检测总管尾气不凝气含量，无法准确测出各合成炉尾气不凝气含量。为了检测各合成炉的反应情况是否良好，有必要设计对合成炉尾气进行检测的专用装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置，以检测各合成炉的尾气中的不凝气含量，对合成炉的反应情况进行准确的分析。

解决上述技术问题的技术方案是：

一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置，它的构成中包括一台盐水冷凝器，在盐水冷凝器外有保温层，盐水冷凝器的进气口与三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，盐水冷凝器的出气口连接尾气取样管，尾气取样管处有通气孔。

上述检测三氯氢硅合成炉尾气的装置，所述盐水冷凝器的进气口通过管道与多个三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，各个三氯氢硅合成炉的尾气出口管道相并联，在各个三氯氢硅合成炉的尾气出口管道上安装有合成炉尾气阀门。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用简单的冷却装置，将高温的合成炉尾气进入盐水冷凝器冷凝后，不凝气由取样口取出，不凝气主要组分是氯化氢、氮气、氢气等。各个合成炉尾气出口均有合成炉尾气阀门控制，如果需检测哪台合成炉只需将其尾气阀门打开，通过检测到的各个合成炉尾气含量可得知各合成炉的反应情况，如反应不好的合成炉可停车检修，避免长期使用造成成本的浪费。本实用新型结构简单、制作容易、成本低，能有效地解决三氯氢硅合成炉尾气检测的问题。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中标记如下：盐水冷凝器1、保温层2、合成炉尾气阀门3、尾气取样管4、盐水进水管道5、盐水回水管道6。

具体实施方式

图中显示，本实用新型由盐水冷凝器1、尾气取样管4组成。在盐水冷凝器1外有保温层2，以-35°的盐水作为冷却介质，盐水冷凝器1上有盐水进水管道5和盐水回水管道6。

图中显示，盐水冷凝器1的进气口与三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，盐水冷凝器1的出气口连接尾气取样管4，三氯氢硅合成炉中的尾气不凝气从尾气取样管4取出，尾气取样管4处有通气孔，目的是保持检测气体气速均匀，取样的准确性。本实用新型的一个实施例的通气孔的直径为2mm。

图中显示，盐水冷凝器1的进气口通过管道与多个三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，各个三氯氢硅合成炉的尾气出口管道相并联，在各个三氯氢硅合成炉的尾气出口管道上安装有合成炉尾气阀门3。每台合成炉尾气测完后合成炉尾气阀门3均需关闭，合成炉尾气取样管4只在测尾气含量时使用。

各个合成炉尾气出口均有合成炉尾气阀门3控制，如果需检测哪台合成炉只需将其合成炉尾气阀门3打开，通过检测到的各个合成炉尾气含量可得知各合成炉的反应情况，如反应不好的合成炉可停车检修，避免长期使用造成成本的浪费。