[实用新型]一种半导体石英管用烘干装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体石英管用烘干装置。

背景技术

决定半导体用石英管质量的一个重要因素就是其表面的洁净度，因半导体用材料的纯度都是以PPM级量化，所以对其表面要求同样很高，现有石英管洗过后大多都是自然晾干（或风干）或简易的烘房烤干，这些方法均不能保证其表面不被污染，也达不到半导体的质量要求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种半导体石英管用烘干装置，作为一种新型的洁净烘干装置，通过对加热循环空气经高效过滤器强制过滤，使洁净房内洁净度达到十万级以内，保证了石英管在高度洁净的保温壳体内烘干，从而解决了石英管在干燥过程中产生的污染问题。

本实用新型提供一种半导体石英管用烘干装置，包括保温壳体，所述保温壳体的顶部设置有风机系统及空气加热装置；所述保温壳体的顶部具有送风口，所述送风口与所述空气加热装置相连通；所述保温壳体的底部具有吸风口，所述吸风口与所述风机系统相连通。

所述送风口内安装有过滤器，所述过滤器的出风口朝向保温壳体内部设置。

所述风机系统与空气加热装置设置于同一外壳中，且所述风机系统处于空气加热装置的上方。

所述送风口的个数为多个，每个所述送风口均通过送风管与所述空气加热装置相连通。

所述吸风口的个数为多个，每个吸风口均通过吸风管与所述风机系统相连通。

所述风机系统为风扇。

所述保温壳体的材质为夹芯板。

本实用新型具有的优点在于：

本实用新型提供一种半导体石英管用烘干装置，作为一种新型的洁净烘干装置，通过对加热循环空气经高效过滤器强制过滤，使洁净房内洁净度达到十万级以内，保证了石英管在高度洁净的保温壳体内烘干，从而解决了石英管在干燥过程中产生的污染问题。

附图说明

图1是本实用新型提供的一种半导体石英管用烘干装置的正面结构示意图；

图2是本实用新型提供的一种半导体石英管用烘干装置的侧面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

本实用新型涉及一种半导体石英管用烘干装置，如图1和图2所示，根据石英管的长短，采用夹心板制备一个保温壳体1，所述石英管9通过管子支架10排列设置于该保温壳体1中。所述保温壳体1的顶部安装有风机系统2及空气加热装置3，其中所述风机系统设置于空气加热装置3的上方，并通过一个壳体11容设，所述风机系统2朝向空气加热装置3吹风，所述空气加热装置3将吹来的空气进行加热。所述风机系统2可以为大功率的风扇。所述保温壳体1的顶部具有一个或多个送风口8，每个送风口8内均安装有高效过滤器5，高效过滤器5朝向保温壳体1的方向具有出风口，通过高效过滤器5的出风口向外吹出过滤后的高温气体。每个送风口8均通过送风管4与所述空气加热装置3相连通。所述保温壳体1的底部设置有一个或多个吸风口6，所述吸风口6均通过吸风管7与顶部风机系统2相连接，通过风机系统2的鼓吹，将底部湿度大的气体通过吸风口6吹入到吸风管7内，并通过风机系统2的转动，将气体经过风机系统2下方的空气加热装置3进行加热后，经过送风管4向下送风至出风口的高效过滤器5，经过强制过滤后，提高气体的洁净度，再经高效过滤器的出风口吹出。干燥过滤后的气体用于石英管9进行烘干加热，加热后的潮湿空气可以再经过吸风口7吸入到吸风管7中，再经过风机系统2的鼓吹以及空气加热装置3的加热，经高效过滤器5通入保温壳体1内部，进而形成循环系统干燥加热系统。

本实施例设计有高效过滤器，可以对烘干装置的内部气体进行过滤，避免产生石英管污染的问题，并通过空气加热装置和风机系统产生循环热气，以使热气在烘干房内循环，达到对石英管持续烘干的目的。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。