[实用新型]一种石英坩埚熔制机熔融控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚系统领域，特别是涉及一种石英坩埚熔制机熔融控制系统。

背景技术

真空电弧法生产石英坩埚设备是目前世界上生产坩埚最先进的技术设备。它以电弧为热源，离心成型的工艺制造坩埚。其特点是设备可操作性强，工艺成熟，产品利润空间大，市场前景广阔。石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品，是半导体产业的龙头产业。广泛应用于电子、化工等诸多行业。用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。主要是采用电弧为热源，离心成型为基础，融化预先成型的高纯石英粉料，通过抽真空制造高纯度内层透明，外层乳白的石英坩埚装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的是提供一种石英坩埚熔制机熔融控制系统，包括主控制器以及与主控制器连接的继电器I、驱动电路I、驱动电路II和继电器II；所述继电器I与驱动电路I相连，所述驱动电路I与电机I相连，所述电机I带动电极上下运动；所述继电器II与驱动电路II相连，所述驱动电路II与电机II相连，所述电机II带动电极左右运动。

所述主控制器为PLC可编程逻辑控制器。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1.本实用新型设计合理、结构简单且电路部分连线简单；

2.本系统的熔融装置由加热电极的打开、闭合及上升、下降二部分组成。电极的开闭和升降分别由二台伺服电机控制，可在操作台和机旁操作箱二处用按钮点动操作。电极下降设有限位开关保护。便于操作和精确定位。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

具体实施方式

参照图1中，本实用新型采用的技术方案为一种石英坩埚熔制机熔融控制系统，包括主控制器以及与主控制器连接的继电器I、驱动电路I、驱动电路II和继电器II；所述继电器I与驱动电路I相连，所述驱动电路I与电机I相连，所述电机I带动电极上下运动；所述继电器II与驱动电路II相连，所述驱动电路II与电机II相连，所述电机II带动电极左右运动。

所述主控制器为PLC可编程逻辑控制器。

以上所述，仅是本实用新型的实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。