[实用新型]晶圆打印作业设备

权利要求书

1.一种晶圆打印作业设备，其特征在于，包含：

机台；

打印装置：配置于机台，并设有至少一执行晶圆打印作业的打印器；

承载转位装置：装配于机台，并位于打印装置的上方，该承载转位装置设有复数个承载器，该复数个承载器包含第一、二承载器，该第一承载器承置打印面朝下的晶圆，并在相对应打印器的位置设有通孔，该第二承载器位于第一承载器的通孔处，并设有承置晶圆的支撑件，该支撑件遮蔽通孔的局部，并令该通孔未遮蔽的部位形成供打印器朝上对晶圆打印的作业区，该承载转位装置设有具有至少一驱动器的驱动机构，该驱动机构以驱动器驱动至少一承载器带动晶圆旋转，使晶圆的待打印部位对应于该作业区以供打印。

2.根据权利要求1所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该承载转位装置于机台设有多层式的调整平台，该调整平台于相对应打印器的位置开设有穿孔，并承置第一、二承载器，以带动第一、二承载器作Ｘ－Ｙ方向位移调整，另该承载转位装置的第二承载器于支撑件的底面固设有复数支立杆，用来架置于调整平台。

3.根据权利要求1所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该承载转位装置的第一承载器包含转动座及承置件，该转动座于相对应打印器的位置开设有第一通孔，该承置件装配于转动座的上方，并承置晶圆，在相对应转动座的第一通孔位置开设有第二通孔。

4.根据权利要求3所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该承载转位装置的驱动机构设有第一驱动器及第二驱动器，该第一驱动器用来驱动第一承载器的转动座转动，第二驱动器装配于转动座与承置件间，而带动承置件作Ｚ方向位移。

5.根据权利要求3所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该承载转位装置的第一承载器的承置件及第二承载器的支撑件分别设有至少一定位晶圆的定位件。

6.根据权利要求1所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该承载转位装置于第二承载器的支撑件下方装配有至少一作Ｚ方向位移的顶置件，用来顶置晶圆。

7.根据权利要求6所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该承载转位装置于第二承载器的支撑件开设有至少一透孔，在支撑件的下方设置有压缸，压缸驱动顶置件于支撑件的透孔作Ｚ方向位移伸缩作动。

8.根据权利要求1所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该承载转位装置设有具有至少一调整器的微调机构，用来调整至少一承载器的θ水平角度。

9.根据权利要求8所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该承载转位装置的微调机构设有第一、二调整器，第一调整器用来驱动第一承载器及晶圆作较大角度旋转的粗定位调整，第二调整器用来驱动第二承载器的支撑件及晶圆作较小角度旋转的细定位调整。

10.根据权利要求9所述的晶圆打印作业设备，其特征在于，该微调机构的第二调整器在第二承载器的支撑件下方配置有马达，马达带动一具有滚轮的摆动杆旋转，在支撑件的底面设有具有导槽的固定件，该导槽可供摆动杆的滚轮嵌置且沿该导槽位移。