[实用新型]一种用膜组分离回收LED生产中排放废氨气的装置有效
申请号: | 201320720997.9 | 申请日: | 2013-11-15 |
公开(公告)号: | CN203612973U | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 金向华;李荷庆 | 申请(专利权)人: | 苏州金宏气体股份有限公司 |
主分类号: | C01C1/14 | 分类号: | C01C1/14 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 周新亚 |
地址: | 215143 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 组分 回收 led 生产 排放 氨气 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及LED生产中处理废气技术领域,特别涉及一种采用亲水性中空纤维膜组成的组件分离回收LED生产中排放废氨气的装置。
背景技术
(LED)发光二极管在气相沉积工艺中的主要原材料是超纯氨、氮气、氢气、MO源。三甲基镓与氨气在高温下气相沉积生成氮化镓。
而为了充分利用价格较贵的MO源,超纯氨气相沉积中需要大大过量,在整个反应过程中的利用率还不到1%,多余部分的氨气与载气氮气、氢气一起排出。而氨气是有害气体必须加以环保处理,方能合法排放。目前处理LED生产排放废气的方法有:一是将排放氨气用硫酸中和,中和以后废液排入污水处理厂再处理;二是采用填料塔将排放氨气吸收为氨水,氨水低价出售;三是采用降膜吸收塔将排放氨气吸收成氨水,氨水低价出售;
由于上述方法中的中和法是转移污染,环保问题没有得到根本解决。而两个吸收氨水的方法,由于LED排放废气中的氨气浓度只有不到20%,其余氮气、氢气浓度达到 了80%左右,造成氨气在水中的溶解度大大降低,还不到10%,氨水的附加值极低。由于废气中的氨气在水中溶解的降低,在最后达标排放过程中还得使用硫酸进行中和。还是严重影响了环境,且回收利用率低下。
实用新型内容
本实用新型的实用新型目的是为了克服上述背景技术的缺点,提供采用亲水性中空纤维膜组成的膜组件,将LED生产中排放的氮气、氢气、氨气的混合气体中的氨气吸收为氨水,而混合气体中的氮气、氢气由于不亲水则在膜的另一则排出,使LED生产废气得以回收和净化的装置。
本实用新型的技术方案是:一种用膜组分离回收LED生产中排放废氨气的装置,它包括:空温式气体冷却器、精密过滤器、增压风机、膜分离组件、氨水循环罐、氨水循环泵、板式换热器、冷冻机组、冷冻水循环泵、饱和氨水罐、饱和氨水输出泵,所述的空温式气体冷却器出气口与精密过滤器入口连接,精密过滤器出口连接增压风机入口,增压风机出口连接膜分离组件入口,膜分离组件出口连接氨水循环罐入口,氨水循环罐出口处设有氨水循环泵,氨水循环泵设有两条管路,其中一条管路连接板式换热器入口,板式换热器出口连接冷冻机组入口;另一条管路连接饱和氨水罐入口。
所述的冷冻机组出口处设有冷冻水循环泵,饱和氨水罐出口处设有饱和氨水输出泵。
所述的空温式气体冷却器为翅片式空气汽化器。
所述的增压风机为铝合金增压风机其压力值最小为0.01MPa,最大为0.05MPa。
所述的膜分离组件采用亲水性中空纤维膜。
所述的冷冻机组的水温控制范围为最低为0℃,最高为2℃。
所述的膜分离组件最少为一组,每组膜分离组件都连接氨水循环罐再连接氨水循环泵,氨水循环泵连接板式换热器。
本实用新型的有益效果是:本实用新型膜组件将LED生产中排放废氨气吸收为氨水的吸收率可达到99.9%,氨水浓度可达到25%左右,解决了LED生产中排放废氨气的环保问题,且回收利用率高。
附图说明
图1为本实用新型采用的五组膜分离组件结构示意图;
图2为本实用新型采用单模分离组件结构示意图;
其中:1、空温式气体冷却器,2、精密过滤器,3、增压风机,4、膜分离组件,5、氨水循环罐,6、氨水循环泵,7、板式换热器,8、冷冻机组,9、冷冻水循环泵,10、饱和氨水罐,11、饱和氨水输出泵。
具体实施方式
本实施例为一种用膜组分离回收LED生产中排放废氨气的装置,它包括:空温式气体冷却器(1)、精密过滤器(2)、增压风机(3)、膜分离组件(4)、氨水循环罐(5)、氨水循环泵(6)、板式换热器(7)、冷冻机组(8)、冷冻水循环泵(9)、饱和氨水罐(10)、饱和氨水输出泵(11)。
如图1所示,空温式气体冷却器(1)为翅片式空气汽化器其出气口与精密过滤器(2)入口连接,精密过滤器(2)出口连接增压风机(3)入口,增压风机(3)出口连接膜分离组件(4)入口,所述的膜分离组件(4)采用亲水性中空纤维膜,膜分离组件(4)出口连接氨水循环罐(5)入口,氨水循环罐(5)出口处设有氨水循环泵(6),氨水循环泵(6)设有两条管路,其中一条管路连接板式换热器(7)入口,板式换热器(7)出口连接冷冻机组(8)入口,所述的冷冻机组(8)出口处设有冷冻水循环泵(9);另一条管路连接饱和氨水罐(10)入口,饱和氨水罐(10)出口处设有饱和氨水输出泵(11)。
如图2所示膜分离组件(4)为一组膜分离组件(4)都连接氨水循环罐(5)再连接氨水循环泵(6),氨水循环泵(6)连接板式换热器(7)。
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