[实用新型]基板的载台装置

权利要求书

1.一种基板的载台装置，其特征在于，包含有：

基座；

第一承置部件：设于基座上，该第一承置部件设有第一架置部，以供架置固定基板的一侧缘；

第二承置部件：滑设于第一承置部件的侧方，该第二承置部件设有第二架置部，以供架置固定基板的另一侧缘，并设有间距控制结构，以控制该第二承置部件位移，并调整该第二承置部件与第一承置部件的间距；

支撑部件：滑设在第一承置部件与第二承置部件之间，该支撑部件设有顶撑部，以供支撑基板的底面；

连杆组：连接并枢设于第二承置部件，并在该连杆组的摆动端与支撑部件间连接有导移结构，以连动支撑部件位移，使支撑部件保持于第一承置部件与第二承置部件间的中央位置处。

2.根据权利要求1所述的基板的载台装置，其特征在于，该第一、二承置部件的第一、二架置部分别设有复数个连通抽气管路的气孔。

3.根据权利要求1所述的基板的载台装置，其特征在于，该第一承置部件与第二承置部件的外侧边分别凸设有挡片。

4.根据权利要求1所述的基板的载台装置，其特征在于，该第二承置部件以滑轨组滑设于基座上。

5.根据权利要求1所述的基板的载台装置，其特征在于，该第二承置部件的间距控制结构是在第二承置部件连接一具有螺杆及螺套的传动组，该传动组的螺杆再连接动力源，以驱动螺杆旋转，并经由螺套带动第二承置部件横向位移。

6.根据权利要求1所述的基板的载台装置，其特征在于，还在第一承置部件与第二承置部件分别设有夹掣部件，该夹掣部件是在第一承置部件与第二承置部件的外侧分别枢设有轴杆，并在两根轴杆上分别设有复数个夹爪，该两根轴杆还分别连接有枢转驱动结构，以驱动轴杆枢转作动，使夹爪夹抵基板的两个侧缘。

7.根据权利要求1所述的基板的载台装置，其特征在于，该支撑部件设有以滑轨组滑设于第一承置部件与第二承置部件间的承板，并在该承板上设有复数个支撑件。

8.根据权利要求7所述的基板的载台装置，其特征在于，该连杆组是在该第二承置部件连接并枢设有第一连杆，在基座预定位置处枢设有第二连杆，并以一枢轴枢接该第一连杆与第二连杆的摆动端。

9.根据权利要求8所述的基板的载台装置，其特征在于，该连杆组的导移结构是在该承板上开设有直向的导槽，该第一连杆与第二连杆的摆动端设有滚子，该滚子滑置于该承板的导槽内。

10.根据权利要求8所述的基板的载台装置，其特征在于，该基板设有弧形沟槽，该连杆组的枢轴底端凸伸于该弧形沟槽内。