[实用新型]一种电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置

权利要求书

1.一种电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，包括微细超声加工机床，其特征在于，还包括电泳直流电源、微细工具、工作液、超微磨粒、微孔工件、电泳辅助圆形电极；

所述微细超声加工机床包括主轴系统、进电系统、主轴微细超声纵振系统；

所述电泳直流电源通过所述进电系统，其正极与微细工具连接，其负极与电泳辅助圆形电极连接；

所述超微磨粒分布在工作液中，超微磨粒的平均粒径小于1微米；

所述微孔工件，其微孔直径小于等于100微米。

2.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，其特征在于，所述微细超声加工机床的主轴系统为可旋转的。

3.如权利要求2所述的电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，其特征在于，所述微细工具通过在线加工完成。

4.如权利要求3所述的电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，其特征在于，所述微细工具其在线加工为微细电火花块反铐法或微细电化学法或其二者的组合。

5.如权利要求4所述的电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，其特征在于，所述微细工具的直径小于所述微孔工件的孔径。