[实用新型]一种用于微型热光电系统的光子晶体过滤器有效
| 申请号： | 201320700069.6 | 申请日： | 2013-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN203673095U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 唐爱坤 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;H01L31/054;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 卢亚丽 |
| 地址： | 212013 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微型 光电 系统 光子 晶体 过滤器 | ||
1.一种用于微型热光电系统的光子晶体过滤器，其特征在于：所述光子晶体过滤器由两个一级禁带中心波长分别为2.34μm和3.0μm的Si/SiO2多层交替叠加的薄膜组合而成，两种多层膜的基本结构均为(L/2HL/2)5，其叠加结构为[1.10(L/2HL/2)](L/2HL/2)3[1.10(L/2HL/2)][0.95(L/2HL/2)](L/2HL/2)3[0.95(L/2HL/2)]，所述新型过滤器具有10个周期单元，共21层。
2.根据权利要求1所述的一种用于微型热光电系统的光子晶体过滤器，其特征在于：将中心波长为2.34μm的基本(L/2HL/2)5结构修正为[1.10(L/2HL/2)](L/2HL/2)3[1.10(L/2HL/2)]。
3.根据权利要求1所述的一种用于微型热光电系统的光子晶体过滤器，其特征在于：将中心波长为3.0μm的基本(L/2HL/2)5结构，修正为[0.95(L/2HL/2)](L/2HL/2)3[0.95(L/2HL/2)]。
4.根据权利要求1所述的一种用于微型热光电系统的光子晶体过滤器，其特征在于：所述晶体过滤器在1.1～1.78μm波长范围内平均透射率达到了0.95；在2～4μm的波长范围内反射率接近1，在4～5μm波长范围内的平均反射率达到了0.4。
5.根据权利要求1所述的一种用于微型热光电系统的光子晶体过滤器，其特征在于：所述的一维Si/SiO2光子晶体过滤器各层材料和厚度如下表所示，厚度单位为nm：
6.根据权利要求1所述的一种用于微型热光电系统的光子晶体过滤器，其特征在于：基片采用GaSb光电池，多层薄膜将以一定的厚度通过真空溅射的方法直接镀在光电池上。
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