[实用新型]一种柱面波前产生组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光学镜面的检测装置，特别涉及一种柱面波前产生组件。

背景技术

光学元件现已广泛应用于成像、通信、医疗等领域。随着光学行业不断的技术革新以及目前不断地朝着集约化、小型化的方向发展，对光学仪器设备、通信设备的便携提出了更高的要求。

柱面镜主要应用于改变成像尺寸大小，例如把一个点光斑转换成一条线斑，或者在不改变像宽度的情况下改变像的高度，可应用在线性探测器照明，条形码扫描，全息照明，光信息处理，计算机，激光发射等，光学柱面镜在强激光系统和同步辐射光束线中也有着广泛的应用。

随着光学产品应用领域对元件要求的不断提高，大功率激光谐振腔的腔片和长距离线干涉仪等高精度测试仪器和装置，对柱面镜零件的要求也越来越高,柱面镜加工精度和检测精度就成为现在光学加工领域亟需解决的问题。

传统柱面加工工艺通常使用样板来控制产品的面形加工精度，但随着产品要求的不断提高，该方法已渐渐显示出其弊端而不能满足产品的精度要求，而近年来兴起的干涉仪多应用于平面与球面镜检测，而难以满足柱面镜的检测精度要求。

 鉴于上述原因，本实用新型提供一种检测柱面镜的衍射光栅组件，该组件能将该光栅组件放置于干涉仪的前端，即可用于测量柱面镜的光学参数。

发明内容

本实用新型的目的，就是为了提供一种光学镜面的检测装置，特别涉及一种柱面波前产生组件。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：所述的一种柱面波前产生组件，包括衍射光栅、固定支座、密封套环和环形卡扣，其结构特点为在衍射光栅外套有密封套后嵌入固定支座的槽内，所述环形卡扣嵌入固定支座的槽后并压住且扣紧固定支座的槽内所嵌入的套有密封套的衍射光栅；所述衍射光栅由光学玻璃基体和光学调节膜构成，光学调节膜设置光学玻璃基体的表面后形成衍射光栅。

所述光学调节膜设置光学玻璃基体的表面后形成光栅参数1a和光栅参数1b的衍射光栅；光栅参数1a和光栅参数1b的数值分别为参数a、b，参数a、b满足光栅常数d=a+b。

所述光学调节膜为CrO₂膜层。

所述光学玻璃的两面面形及其透过波前均为大于1/20λ，其中λ为光波波长。

所述衍射光栅的光栅常数d的计算公式为                                                ，其中L为柱面镜焦距，λ是所用光波的波长，x为某一级条纹与零级条纹的距离。

所述衍射光栅的光栅常数d为4.25～5.75μm。

光栅是一种常用的光学色散元件,具有空间周期性,它好像是一块由大量的等宽、等间距并相互平行的细狭缝组成的衍射屏，色散率大，分辨本领高，可以通过测定光波的波长，研究光谱线的结构和强度，标志衍射光栅性质的一个重要物理量就是光栅常数d，光栅常数d=a+b。

本实用新型的有益效果：本实用新型操作简单，能快速、准确地获得柱面波前，实用性强，应用于光学元件的加工，可大幅度提到光学元件的加工精度，具有较高的应用价值和经济效益。

附图说明

图1是衍射光栅原理示意图。

图1-1是θ、dSinθ、a和b的关系图。

图2是一种柱面波前产生组件的主视图。

图3是一种柱面波前产生组件的俯视图。

图4是衍射光栅结构的主视图。

图5是衍射光栅结构的俯视图。

图6是制作衍射光栅的材料结构示意图。

图7是制作衍射光栅的材料结构及工艺示意图。

图中，1a、1b是光栅参数，2是光波，3是固定支座，4是衍射光栅，5是环形卡扣，6是密封套环，40是光刻胶层，41是CrO₂膜层，42是石英光学玻璃。

具体实施方式

为了对本实用新型作进一步的了解，现结合附图1对光栅的作用原理作具体的说明,图1中的P代表部件，L为柱面镜焦距，x为某一级条纹与零级条纹的距离。

光栅一个重要物理量就是光栅常数d，它满足的方程就是光栅方程。

光栅常数 d=a+b                

光栅方程   dSinθ=kλ

式中θ是衍射角，λ是所用光波的波长，k是衍射光谱的级次，k=0、±1、±2、±3、±4······。

根据光栅方程，亮条纹的位置由光栅方程决定，只考虑k=±1级的情况，Sinθ就是一个小量，此时Sinθ≈tgθ,因此，光栅方程可以写成下式，由此计算光栅常数d：

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