[实用新型]面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台

权利要求书

1.一种面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，包括平台支撑装置、三自由度装置、力传感器与声发射传感器控制单元、工具头加持单元，其特征在于：所述三自由度装置分别提供Z轴转动、Y轴转动、Z轴移动，三自由度装置提供工件所需要的加工位置和向下的载荷力；所述力传感器与声发射传感器控制单元包括力传感器（13）及声发射传感器（25），由连接环（12）、法兰（14）和工具头加持单元（11）固定，力传感器（13）通过连接环（12）、法兰（14）测量工件在加工过程中所受到的作用力；声发射传感器（25）与金刚石工具头（10）接触，监控加工时材料去除动态过程；所述力传感器与声发射传感器控制单元连接三自由度传动装置与工具头加持单元。

2.根据权利要求1所述的面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，其特征在于：所述的三自由度装置由安川交流伺服旋转电机（15）、脉冲控制数字舵机（16）、安川交流伺服直线电机（19）组成，Z轴移动由安川交流伺服直线电机（19）提供，通过紧固螺钉Ⅰ（20）固定在连接板（1）上，电机具有自锁并自带编码器，能够实现对转速的检测，形成半闭环控制，电机的输出轴、滚珠丝杠（23）与联轴器（21）通过紧固螺钉Ⅱ（22）相连，滚珠丝杠（23）与丝杠螺母（18）相连接，丝杠螺母（18）与滑块（7）通过内六角螺钉Ⅱ（17）相连，Z轴位移沿导轨（6）产生；Y轴旋转由脉冲控制数字舵机（16）提供，数字舵机通过紧固螺钉固定在滑块（7）上，舵机由数字脉冲控制，舵机以单脉冲1分度为单位绕Y轴旋转，舵机具有自锁功能，实现待加工面的角度调整；Z轴旋转由安川交流伺服旋转电机（15）提供，并通过紧固螺钉将其固定在舵机上，安川交流伺服旋转电机具有自锁并自带编码器，能够实现对转速的检测，形成半闭环控制，严格输出需要的角度。

3.根据权利要求1所述的面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，其特征在于：所述的力传感器（13）与法兰（14）、连接环（12）相连，夹头（11）与连接环（12）螺纹连接，同时通过调整两者的位置使声发射传感器（25）与金刚石工具头（10）相接触。

4.根据权利要求1所述的面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，其特征在于：所述的工具头加持单元的金刚石夹头（11）与连接环（12）螺纹连接，并通过紧固螺钉Ⅲ（24）将金刚石工具头（10）固定。

5.根据权利要求1所述的面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，其特征在于：所述的平台支撑装置由抛光台（8）、立柱（2）、支撑块（4）组成，抛光盘（9）由闭环控制电路控制研磨/抛光转速并固定于抛光台（8）中心，支撑块（4）通过紧固螺栓（5）固定在立柱（2）上，连接板（1）通过内六角螺钉Ⅰ（3）固定于支撑块上。