[实用新型]一种TCO刻线测试机有效
申请号: | 201320682712.7 | 申请日: | 2013-11-01 |
公开(公告)号: | CN203617256U | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 陈庆华 | 申请(专利权)人: | 厦门玖田自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361015 福建省厦*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 tco 测试 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种测试机,尤其是指一种TCO刻线测试机。
背景技术
在薄膜太阳能电池制作工艺中,需经几道激光刻线工艺,由于基板杂质颗粒造成膜层穿孔,而且激光刻线后形成侧壁金属残余物,由此,由于激光刻线工艺的缺陷形成了导电旁路。
由于激光刻线工艺的缺陷使得太阳能导电玻璃各小组电池之间未完全隔离,即各小组电池之间未完全绝缘,同时,太阳能导电玻璃各小组导电膜需要适合的电压检测修复。
因此,如何检测太阳能导电玻璃各小组电池之间是否完全隔离,以期达到有效解决TCO(导电膜)的绝缘性能,进而使得后续产品漏电现象减少,成为急需解决的问题,本案由此产生。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种TCO刻线测试机,以完全排除太阳能导电玻璃漏电现象,提高太阳能导电玻璃的功率。
为达成上述目的,本实用新型的解决方案为:
一种TCO刻线测试机,包括送出料系统、TCO检测修复系统及控制系统;TCO检测修复系统设置在送出料系统一侧,送出料系统输送太阳能导电玻璃至TCO检测修复系统中;控制系统同时与送出料系统及TCO检测修复系统电性连接;送出料系统由电机及滚轮组成,电机安装在机台上,传动滚轮转动带动太阳能导电玻璃移动,且在机台上还安装由二维条码扫描枪;TCO检测修复系统包括升降机构、探针装置及定位机构;升降机构安装在机台上将太阳能导电玻璃降落,定位机构安装在机台上对太阳能导电玻璃定位,探针装置安装在机台上对太阳能导电玻璃进行测试。
进一步,控制系统由人机界面及PLC组成,人机界面与PLC连接,而PLC与送出料系统及TCO检测修复系统连接。
采用上述方案后,本实用新型在使用时,将太阳能导电玻璃通过送出料系统输送至TCO检测修复系统中,TCO检测修复系统的升降机构使太阳能导电玻璃降落,并通过定位机构定位,然后探针装置进行测试。因此,本实用新型完全排除太阳能导电玻璃漏电现象,提高太阳能导电玻璃的功率,使得导电玻璃更完整,更合理。
附图说明
图1为本实用新型主视图;图2为本实用新型俯视图。
标号说明
送出料系统1;TCO检测修复系统2;控制系统3。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本实用新型做详细的说明。
参阅图1及图2所示,本实用新型揭示的一种TCO刻线测试机,包括送出料系统1、TCO检测修复系统2及控制系统3。
TCO检测修复系统2设置在送出料系统1一侧,送出料系统1输送太阳能导电玻璃至TCO检测修复系统2中。控制系统3同时与送出料系统1及TCO检测修复系统2电性连接。
送出料系统1由电机及滚轮组成,电机安装在机台上,传动滚轮转动带动太阳能导电玻璃移动,且在机台上还安装由二维条码扫描枪。
TCO检测修复系统2包括升降机构、探针装置及定位机构;升降机构安装在机台上将太阳能导电玻璃降落,保持整体升降平衡,升降位置可调整,速度可控制,避免在产品表面留下痕迹。定位机构安装在机台上对太阳能导电玻璃定位,对工件进行精确定位,定位精度达到要求标准。探针装置安装在机台上对太阳能导电玻璃进行测试,探针密度根据要求进行分布,探针应易于检查、保养与更换。
控制系统3由人机界面及PLC组成,人机界面与PLC连接,而PLC与送出料系统1及TCO检测修复系统2连接。控制系统3中应对系统控制进行分级,对应操作员、技术员、工程师级别设定不同操作权限;操作员为基本控制操作,技术员为工艺参数设定,工程师为完全控制。控制系统中需要与MES进行信息交互,提供MES需求的工艺参数、设备状态、设备告警信息等。
本实用新型使用时,从上一区自动线进入送出料系统1后,到达减速点导电玻璃自动减速运行,运行至到位点时停止。判断检测修复系统2中是否有导电玻璃:若有导电玻璃,则组件在进片区等待;若没有,则组件立即进入检测修复系统2中。进入检测修复系统2中后,到达减速点导电玻璃自动减速运行,运行至到位点时停止。开始加压500VDC(可修改)检测其漏电电阻,大于设定值时,说明良好,进入下一节;如果小于设定值,再次加压1000VDC(可修改)修复,查看这时的漏电电阻,完好结束后,进入下一节。全部检测/修复后,判断外面自动线是否有导电玻璃:有导电玻璃,则在此等待;没有导电玻璃,则立即进入下一区。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并非对本案设计的限制,凡依本案的设计关键所做的等同变化,均落入本案的保护范围。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门玖田自动化设备有限公司,未经厦门玖田自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320682712.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造