[实用新型]一种镀膜机用磁密封装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜机用磁密封装置，尤其是涉及一种镀膜机配件领域的镀膜机用磁密封装置。

背景技术

镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。现如今，大多数镀膜机用磁密封装置采用旋转轴与密封法兰连接，而随着高速转动，旋转轴与密封法兰容易磨损，而水冷座出现漏水现象。

实用新型内容

本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供了一种密封效果好且避免旋转轴磨损导致漏水现象的镀膜机用磁密封装置。

一种镀膜机用磁密封装置包括水冷板、水冷板底座、旋转轴、壳体、磁密封圈、轴承垫圈、轴承、端盖、同步带轮和旋转水冷接头，旋转轴上端通过螺栓与水冷板底座连接，水冷板底座上侧通过螺栓与水冷板连接，旋转轴下部外侧设有壳体，旋转轴与壳体之间设有磁密封圈、轴承垫圈和轴承，壳体下端与端盖连接，旋转轴下部外侧设有同步带轮且该同步带轮处于壳体端盖下方，旋转轴下端设有旋转水冷接头。

优选地，所述的旋转轴与壳体之间设有两个轴承且两个轴承分别处于壳体内侧的上部与下部。

优选地，所述的端盖与外壳通过螺栓固定。

优选地，所述的磁密封圈下部设有轴承垫圈。

本实用新型的有益效果在于：水冷板底座上侧通过螺栓与水冷板连接，用水冷底座替代法兰，水冷底座与旋转轴连接一起转动，避免了旋转轴在高速转动过程中磨损，而导致漏水，旋转轴上端通过螺栓与水冷板底座连接，旋转轴能在高速旋转中能通过冷却水进行水冷；壳体上部内侧设有磁密封圈，采用磁密封圈与壳体配合，防止因为骨架油封的唇边磨损，而导致冷却水泄漏。

附图说明

图1是实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例1

如图1所示，一种镀膜机用磁密封装置包括水冷板1、水冷板底座2、旋转轴3、壳体4、磁密封圈5、轴承7垫圈6、轴承7、端盖8、同步带轮9和旋转水冷接头10，旋转轴3上端通过螺栓与水冷板底座2连接，水冷板底座2上侧通过螺栓与水冷板1连接，旋转轴3下部外侧设有壳体4，旋转轴3与壳体4之间设有磁密封圈5、轴承7垫圈6和轴承7，壳体4下端与端盖8连接，旋转轴3下部外侧设有同步带轮9且该同步带轮9处于壳体4端盖8下方，旋转轴3下端设有旋转水冷接头10，旋转轴3与壳体4之间设有两个轴承7且两个轴承7分别处于壳体4内侧的上部与下部，端盖8与外壳通过螺栓固定，磁密封圈5下部设有轴承7垫圈6。

最后，应当指出，以上实施例仅是本实用新型较有代表性的例子。显然，本实用新型不限于上述实施例，还可以有许多变形。凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均应认为属于本实用新型的保护范围。