[实用新型]精确传输高真空机械手臂

权利要求书

1.一种精确传输高真空机械手臂，包括固定支架(1)，其特征是：固定支架(1)上部连接上支架(2)，下部连接下支架(3)；下支架（3）内设有下轴承（11），滚珠丝杆（10）安装在下轴承（11）中，滚珠丝杆(10)下部穿过下支架(3)连接升降电机(12),滚珠丝杆(10)上通过螺纹连接旋转电机支架(9)；旋转电机支架（9）上转动连接主轴（13），主轴（13）上端连接臂体（5）；在主轴（13）上设有上轴承（8），上轴承（8）和上支架（2）之间设有滑动密封件（4）；旋转电机支架（9）上固定旋转电机（7），旋转电机（7）通过齿轮传动机构连接带动主轴（13）转动。

2.如权利要求1所述的精确传输高真空机械手臂，其特征是：所述上支架（2）上端固定密封盘（6）。

3.如权利要求1所述的精确传输高真空机械手臂，其特征是：所述齿轮传动机构包括连接在旋转电机（7）上的主动齿轮和连接在主轴（13）上的从动齿轮，主动齿轮和从动齿轮互相啮合。