[实用新型]一种掩模板有效
| 申请号： | 201320676061.0 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN203569178U | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;潘世珎;张炜平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模板 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩模板，包括掩模板本体及形成在所述掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，所述掩模板包括蒸镀面和ITO面，其特征在于：所述蒸镀孔在所述ITO面设有凹槽，在所述蒸镀孔中心轴线所在的截面上，所述蒸镀面的蒸镀孔的边缘线呈碗状。
2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述蒸镀面的所述蒸镀孔的孔壁与所述掩模板本体的板面呈30°～60°夹角。
3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述ITO面的所述凹槽的侧壁与所述掩模板本体的板面呈60°～90°夹角。
4.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板蒸镀面的厚度为10～50μm。
5.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述凹槽的深度为2～30μm。
6.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板的总厚度为12～80μm。
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