[实用新型]拉力试验机的校准装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种拉力试验机的校准装置。

背景技术

在半导体制造过程中，需要对半导体晶圆进行不同参数的测量，以监控生产工艺是否符合标准，生产出的半导体晶圆良率是否合格。针对不同的参数量测，需要采用不同的方法。

其中一种参数量测是对芯片(Die)做拉力破坏性实验，通过观察Die的金属层(Metal)与Metal之间的剥离状态来分析制程(Process)是否正常。目前，此项实验在业界处于起步阶段，其测试方法、校准装置以及校准方法均有待优化。现有技术中，通常采用拉力试验机来进行Die的拉力破坏性实验。拉力试验机作为一种重要的试验设备，用来对金属和非金属材料进行拉伸、压缩、弯曲、剪切、剥离等力学性能试验用的机械加力，广泛应用于材料的各种物理机械性能测试，为物性试验、教学研究、质量控制等不可缺少的检测设备。图1为现有技术中的拉力试验机，所述拉力试验机1具有一用于拉伸待测芯片15的夹具11。如图2所示，所述待测芯片15包括衬底151、若干金属层152a、152b、152c、152d以及钝化层153，其中金属层的层数不做限制。所述夹具11具有两个夹板12、13，所述衬底151和钝化层153分别通过胶水黏贴到两个所述夹板12、13上。所述拉力试验机1通过对两个所述夹板12、13施加拉力，以对所述芯片15进行拉力测试。

由于拉力试验机1的校准仪器比较贵重，通常的拉力试验机1每年委托计量局来做校准。为了保证拉力试验机1输出拉力的准确性，最好在每次实验之前，对拉力试验机1进行校准，以确保测试数据的准确性。然而，不可能在做每次的实验的时候，都委托计量局来校准拉力试验机1。所以，通常需要用制备专门的标准样品来校准机台，一般的，选择与所述待测芯片15相同结构的芯片作为所述标准样品。然而，所述标准样品在制备的过程中，会遇到很多干扰因素会影响到分析值的准确性；另外，即使所述标准样品制备没问题，由于拉力实验是一次性破坏实验，一次校准实验后，所述标准样品用完就报废了，如果当拉力试验机1需要做反复性的测试才能达到校准的效果时，需要制备若干所述标准样品，费时费力；并且，现有技术中的所述标准样品需要黏贴到两个所述夹板12、13上，所以，胶水14涂抹的均匀性也会影响测试数据，拉力试验结束后，还需要清理粘附在所述夹板12、13上的胶水14，工作效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种拉力试验机的校准装置，能够准确模拟拉力实验，并能够反复利用，提高效率。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种拉力试验机的校准装置，所述校准装置具有一磁性的标准样品以及一用于拉伸所述标准样品的夹具，所述夹具具有两个可磁化的夹板，所述标准样品具有两个相互背离的相对端，两个所述相对端分别吸住两个所述夹板。

进一步的，所述标准样品为一可变磁力磁铁。

进一步的，所述标准样品为一电磁铁。

进一步的，所述标准样品的两个相对端为两个磁极。

进一步的，所述标准样品的两个相对端均为平面。

进一步的，所述夹板为条形。

进一步的，所述夹板为铁夹板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在；

1、在本实用新型的拉力试验机的校准装置中，所述校准装置具有一磁性的标准样品以及一用于拉伸所述标准样品的夹具，所述夹具具有两个可磁化的夹板，所述标准样品的两个相对端分别吸住两个所述夹板，与现有技术相比，磁性的所述标准样品可以吸住两个可磁化的所述夹板，通过所述标准样品对所述夹板的吸力准确模拟拉力实验，不需要胶水黏贴，避免清理胶水，提高工作效率；同时，磁性的所述标准样品能够避免外部因素的干扰，提高测试数据的准确性；另外，当所述校准装置进行校准时，对两个所述夹板施加拉力，当拉力大于所述标准样品对所述夹板的吸力时，所述标准样品从所述夹板上托落下来，测得实验数据，所述标准样品不会被破坏，可以反复利用，从而确保每次做实验前拉力试验机量测的准确度。

2、在本实用新型的拉力试验机的校准装置中，所述标准样品为一可变磁力磁铁，例如电磁铁，可以通过调节所述电磁铁的导电绕组的数量以及导电绕组的电流，控制所述电磁铁的吸力，使得所述标准样品对具有所述夹板具有不同的吸力；当需要测试不同制程的待测芯片时，可以通过调节导电绕组的电流，以使所述标准样品的力值范围与所述待测芯片的力值范围相匹配，从而精确地对拉力试验机量测进行校准。

附图说明

图1为现有技术中拉力试验机的示意图；