[实用新型]开放式线性导轨光栅线位移传感器有效
申请号: | 201320671448.7 | 申请日: | 2013-10-29 |
公开(公告)号: | CN203518950U | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 赵惠英;郭晓聪;王忠祜;陆洪伦;郭长新;赵怀友;袁林 | 申请(专利权)人: | 北京微纳精密机械有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 100102 北京市朝阳区望京新*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 开放式 线性 导轨 光栅 位移 传感器 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种机加工过程中的精密位移测量与控制技术,属于精密测量技术领域。
背景技术
目前国内的光栅尺关键件大多采用透射式玻璃标尺光栅和铸铝外壳,采用五个小轴承(一面两点)定位原理实现读数头与标尺光栅的相对运动。玻璃光栅的寿命短,且玻璃与钢的线胀系数差别很大,温度特性不好,温度特性直接影响光栅线位移传感器的精度。研制出更小、更轻、更灵敏的反射式金属光栅线位移传感器已成为亟待解决的问题。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是克服原有透射式玻璃光栅尺寿命短,灵敏度低,各部件热胀系数不一致的问题,提供一种开放式线
性导轨光栅线位移传感器。
本新型提供的技术方案,一种开放式线性导轨光栅线位移传感器,线性导轨上表面开槽贴有钢带标尺光栅,安装板通过长孔用螺钉固定在滑块侧面,安装板上开长孔,读数头通过可调长孔固定在安装板上,安装板上开,导轨靠螺钉固定在机床床身上,滑块连接工作台。
本发明选用体积小、精度高的线性导轨,并在线性导轨上表面开槽贴钢带标尺光栅。线性导轨直线度好、平稳性好、精度高、灵敏度高,从而提高光栅尺的精度。滑块侧面靠螺钉固定有读数头安装板,安装板上开长孔,上下可调,读数头装在读数头安装板上,可以很方便的调节读数头与钢带标尺光栅之间的距离。滑块连接工作台,导轨靠螺钉固定在机床床身上。机床工作时带动滑块运动,读数头与光栅尺就产生相对运动,产生莫尔条纹,输出信号。采用钢带标尺光栅,被测元件也是钢,光栅尺的温度特性好。
本发明与现有技术相比的优点:
1.本实用新型采用线性导轨及滑块实现读数头与光栅尺的相对运动,结构紧凑,体积小,且线性导轨直线性好、精度高、灵敏度高。
2.本实用新型内外部件及被测元件材料均为钢,温度特性好。
附图说明
附图1为本实用新型的结构示意图。
附图2为本实用新型的截面图。
具体实施方式
为使该实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,以下结合附图对本实用新型作进一步地详细说明。
附图1中 1为高精度线性导轨,2为滑块,导轨上表面贴有钢带标尺光栅3,4为读数头安装板,读数头安装板上开长孔,读数头5固定在安装板上。滑块连接工作台,导轨靠螺钉固定在机床床身上。机床工作时带动滑块运动,读数头与光栅尺就产生相对运动,产生莫尔条纹,输出信号。采用钢带标尺光栅,被测元件也是钢,光栅传感器的温度特性好。
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