[实用新型]激光成像加工装置有效
| 申请号： | 201320669179.0 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN203520013U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;狄建科;姜尧;张伟;李金泽;蔡仲云 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 成像 加工 装置 | ||
1.一种激光成像加工装置，其特征在于，包括：
若干曝光装置；
工作平台；
在所述工作平台的X轴方向上相邻的曝光装置，在所述工作平台的Y轴方向上设有间距，所述若干曝光装置在所述工作平台上投射有若干光斑，所述若干光斑在X轴上的投影连成一线。
2.根据权利要求1所述的激光成像加工装置，其特征在于，每一曝光装置投射的光斑与相邻曝光装置投射的光斑在Y轴上的投影之间设有间隙。
3.根据权利要求1所述的激光成像加工装置，其特征在于，所述X轴方向上相邻的曝光装置在所述Y轴方向上设有的间距大小相同。
4.根据权利要求1所述的激光成像加工装置，其特征在于，所述若干曝光装置投射于所述工作平台上的光斑彼此之间设有间隙。
5.根据权利要求1所述的激光成像加工装置，其特征在于，所述曝光装置包括有激光器、第一扩束镜、第一45度半反镜、DLP芯片、第二45度半反镜以及第二扩束镜，所述激光器的输出端设置所述第一扩束镜，所述第一扩束镜的输出端设置所述第一45度半反镜，所述第一45度半反镜的反射输出端布置所述DLP芯片，所述DLP芯片的输出端布置通过所述第二45度半反镜，所述第二45度半反镜的透射输出端布置所述第二扩束镜，所述第二扩束镜正对于所述工作平台。
6.根据权利要求5所述的激光成像加工装置，其特征在于，所述第二扩束镜的出光线路上还设有聚焦镜。
7.根据权利要求6所述的激光成像加工装置，其特征在于，所述激光器为连续激光器，且其曝光光源的波长为355nm紫光波段。
8.根据权利要求6所述的激光成像加工装置，其特征在于，所述激光器为连续激光器，且其曝光光源的波长为405nm蓝紫光波段。
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