[实用新型]微加速度传感器结构有效
| 申请号： | 201320654610.4 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN203519642U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 黄友华 | 申请（专利权）人： | 成都市宏山科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 结构 | ||
【权利要求书】：
1.微加速度传感器结构，它包括支撑座（1），其特征在于：所述的支撑座（1）的内壁上固定有上极板（4）和下极板（5），所述的支撑座（1）内设置有活动极板（3），所述的活动极板（3）的两端均固定有弹性梁（2），所述的活动极板（3）与上极板（4）相平行，所述的支撑座（1）上与弹性梁（2）接触处设置有受力孔（6）。
2.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于：所述的上极板（4）、下极板（5）和活动极板（3）均连接在信号处理电路上。
3.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于：所述的上极板（4）和下极板（5）位于同一垂直面上。
4.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于：所述的上极板（4）和下极板（5）均有两个。
5.根据权利要求4所述的微加速度传感器结构，其特征在于：所述的活动极板（3）位于两个上极板（4）之间。
6.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于：所述的受力孔（6）的面积小于支撑座（1）与弹性梁（2）接触的面积。
7.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于：所述的活动极板（3）与上极板（4）之间的距离小于2毫米。
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