[实用新型]激光打标机与附属吸尘器的互锁电路

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别是涉及激光打标机与附属吸尘器的互锁电路。

背景技术

激光打标机在对硅片进行激光打标时，需要将附属吸尘器打开，该吸尘器用于将打标时从硅片表面飞溅出至腔体空间内的碎屑吸走，避免硅片表面污染。普通的作业方式是：操作员手动开启吸尘器后，再进行主机台的激光打标作业。由于原有机台并没有将主机台与附属吸尘器进行联动，所以即使不打开吸尘器电源，主机台仍可进行打标作业，这样会影响硅片表面洁净度，造成产品质量问题。为了避免操作员可能的失误，即在未开启吸尘器的情况下进行激光打标作业，必须想办法将吸尘器开关信号串联入激光打标机主机台作业开始互锁确认信号中（激光打标机主机台原有安全互锁回路见图2，主机台周围各个盖板上有磁性开关，在主机台周围盖板处于打开状态时，安全互锁回路断开，主机台报警，不可进行激光打标作业）。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种激光打标机与附属吸尘器的互锁电路，它可以确保激光打标作业在吸尘器开启的状态下进行。

为解决上述技术问题，本实用新型的激光打标机与附属吸尘器的互锁电路，除原有的激光打标机主机台周边盖板安全互锁回路和吸尘器电路外，还包括有交流转直流开关电源、直流继电器和机台互锁连接导线；其中：

交流转直流开关电源，用于将吸尘器供电电源引出的交流电转换成直流电；

直流继电器，用于根据交流转直流开关电源是否得电来自动控制激光打标机主机台盖板安全互锁回路的开闭；

机台互锁连接导线，用于将直流继电器串联入激光打标机主机台盖板安全互锁回路。

本实用新型通过在激光打标机主机台原有互锁回路中加入附属吸尘器开关信号，解决了吸尘器不开启也可以打标的问题，保证了激光打标作业在吸尘器开启的状态下进行，从而保证了硅片表面洁净度，避免了因操作人员未开启吸尘器而造成的产品质量问题。

附图说明

图1是原吸尘器电路框图。

图2是原激光打标机主机台周边盖板安全互锁回路。

图3是本实用新型的互锁电路结构相比图2主机台原有的互锁回路结构新增加的电路结构示意图。

图4是图3的电路与图2主机台原有的互锁回路的连接方式示意图。

图5是本实用新型将吸尘器开关信号加入激光打标机主机台原有互锁回路后最终形成的互锁电路结构示意图（即图1-3的电路组合）。

具体实施方式

为对本实用新型的技术内容、特点与功效有更具体的了解，现结合图示的实施方式，详述如下：

本实施例的激光打标机与附属吸尘器的互锁电路的结构请参见图5所示，在激光打标机和其附属吸尘器的原有电路结构中，增加了如图3所示的电路结构。新增加的电路结构中包括有交流转直流开关电源、直流继电器和机台互锁连接导线。其中：

交流转直流开关电源，本实施例采用的型号为S-50-24，输入交流电：100～120VAC，1.3A，200～240VAC，0.65A，频率50/60Hz；输出直流电：+24V，2.1A。交流转直流开关电源用于将激光打标机附属吸尘器供电电源引出的100V交流电转换成24V直流电。

直流继电器，本实施例采用的是带干节点的24V直流继电器，型号：MY2N-D2，24VDC。

机台互锁连接导线用于利用直流继电器干节点，将直流继电器的得电信号串联为激光打标机主机台盖板安全互锁回路的一部分。

以下对上述互锁电路实现激光打标机和附属吸尘器互锁功能的原理和方法进行详细的说明。

如图2所示，激光打标机主机台原有盖板安全互锁回路中，主机台周围各个盖板上均有磁性感应器节点（即磁性开关），将其中一个磁性感应器节点断开，串联入由吸尘器马达电源提供的新的直流继电器信号，得到如图4、5所示的电路结构。

当吸尘器未打开时，激光打标机主机台原有盖板安全互锁回路呈断开状态，此时，激光打标机主机台会有报警，且不会进行打标作业。

当吸尘器开关打开时，吸尘器主继电器吸合，供给吸尘器风机马达100V交流电源，在吸尘器主继电器与吸尘器马达之间有接线排，引出100V电源给交流转直流开关电源，交流转直流开关电源得电后，使直流继电器吸合，由于直流继电器的一组接点已经串联入激光打标机主机台原有的盖板安全互锁回路，因此，此时盖板安全互锁回路接通，激光打标机主机台互锁条件得到满足，激光打标机主机台开始进行激光打标作业。

这样，通过在激光打标机主机台盖板安全互锁回路中串联入由吸尘器马达电源提供的直流继电器信号，就使激光打标机主机台对吸尘器电源开关具有了感知功能，从而实现了打标机正常工作必须将附属吸尘器开启的互锁功能。