[实用新型]显微扫描装置

说明书

技术领域

本实用新型有关一种扫描装置，特别是一种显微扫描装置。

背景技术

由于产品尺寸的微小化，或是对于材料微观性质及结构的探讨，显微成像技术广泛的运用在材料分析、产品良率分析或是生医领域。然而，传统的显微成像，仅能得到小区域的影像，若需要大区域的观察，则需要大量的接图。例如，针对1”x1”的晶圆区域，可能会得到上百或上千张的图形，然后还要加以拼接，过程繁琐且容易产生误差。此外，传统的扫描装置皆为缩像系统，其是将较大的待扫描对象经由光学系统成像于较小的影像传感器，如图1所示，亦即物高O₀大于像高I₀，因此传统的扫描装置无法取得待扫描对象的细部扫描影像。

因此，发展一种能够获得大区域范围且高分辨率影像是目前亟需实现的目标。

实用新型内容

本实用新型了提供了一种扫描装置，其具有放大成像的效果，经由连续的线性扫描，可得到大区域范围对象的显微扫描影像。

根据本实用新型的一实施例，一种显微扫描装置，包含一光源、一影像感测模块以及一透镜组。光源用以产生一光线照射一对象以产生一影像光；影像感测模块用以接收来自对象的影像光以产生一影像信号；透镜组则设置于影像感测模块的一入光侧，用以会聚来自对象的影像光至影像感测模块，其中透镜组包含多个透镜，多个透镜的光轴彼此平行，且透镜组于对象端的一物高小于影像感测模块端的一像高。

以下藉由具体实施例配合附图详加说明，当更容易了解本实用新型的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

附图说明

图1所示先前技术的扫描成像示意图。

图2所示为本实用新型一实施例的扫描装置的结构示意图。

图3所示为本实用新型另一实施例的扫描装置的结构示意图。

图4所示为本实用新型另一实施例的扫描装置的结构示意图。

符号说明

1   扫描装置

10  光源

20  影像感测模块

30  透镜组

31  透镜

40  驱动模块

50  影像处理模块

I₀  先前技术中的像高

O₀  先前技术中的物高

I   影像

I_H  像高

O   物件

O_H  物高

具体实施方式

请参考图2，图2所示为本实用新型一实施例的扫描装置的结构示意图。一种显微扫描装置1，包含一光源10、一影像感测模块20以及一透镜组30。光源用以产生一光线照射一对象O以产生一影像光，于一实施例中，光源10包含一发光二极管或冷阴极荧光灯(cold cathode fluorescent lamp，CCFL)。影像感测模块20用以接收来自对象的影像光以产生一影像信号。于一实施例中，影像感测模块20可为一线状影像传感器(linear image sensor)，以接受线性扫描所得到的影像。透镜组30则设置于影像感测模块20的一入光侧，用以会聚来自对象O的影像光至影像感测模块20，得到一影像I；其中透镜组30包含多个透镜31，多个透镜31的光轴彼此平行，且透镜组30为一放大光学系统，亦即较小的对象O经透镜组30光学放大后成像于影像感测模块20。换言之，透镜组30的光学系统于对象O端的一物高O_H小于影像感测模块20端的一像高I_H。

根据上述架构，本实用新型的显微扫描装置1为一放大成像系统，因此可获得显微影像。另外一方面，透过连续的线性扫描，可获得整个大区域范围的显微影像，免去了大量接图的过程，提升便利性跟准确性。于一实施例中，透镜组30的光学放大率介于4至100倍。