[实用新型]遮光式恒温氙灯灯室结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种氙灯灯室结构，特别是涉及一种遮光式恒温氙灯灯室结构。

背景技术

灯室技术是一项专用电子设备中的专有技术，主要是解决电光源如氙灯，汞灯的反射照明和遮光散热问题，一般应用在光电检测，微电子光刻曝光等领域。电光源的光线是向四周发散射出的，光源反射罩的目的是将光能尽可能大地汇聚起来，沿着设备指定的方向射出。由于光线在反射罩中反射造成反射罩的温升，使得光源周围的温度变化，而温度的变化又会造成光源光谱和光强的变化，最终造成曝光设备和检测设备的不稳定。解决问题的方法一般是进行自然冷却或强制冷却，自然冷却在反光罩的外围不专门设计散热装置或最多加装散热片进行自然散热，这样的结构一般只适用于小功率电光源的灯室。强制冷却灯室是在自然冷却的基础上加上风冷风扇进行强制吹风，或在反光罩的上方开孔进行强制抽风，或者在灯室的外围绕制冷水管道进行水冷，这些方式的灯室适合中大功率的光源灯室。

目前，常用的灯室结构主要有开放式排风散热氙灯灯室，封闭式自然散热氙灯灯室，封闭式强排风散热氙灯灯室等。主要存在如下缺陷：

开放式排风散热氙灯灯室，其主要的缺点是漏光，一则造成对外界的光污染，影响工人的身体健康，二则外界的杂光会沿开放的光通道，直接进入设备，造成光电测试不准确；

封闭式自然散热氙灯灯室，其主要缺点是灯的功率不能太大，一般200W以下，否则造成灯室温度太高，造成氙灯发光谱线变化，有效谱线的光功率下降等问题，不适用于大功率应用场合；

封闭式强排风散热氙灯灯室，是一种较为理想的结构，风道的结构决定了该灯室的温度控制的效率和精度，但直排式的结构，无法彻底挡住杂光，另外风速不易控制，造成灯室温度控制误差较大。

有鉴于此，本发明人对此进行研究，专门开发出一种遮光式恒温氙灯灯室结构，本案由此产生。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光电检测精度、准确度高等优点的遮光式恒温氙灯灯室结构。

为了实现上述目的，本实用新型的解决方案是：

遮光式恒温氙灯灯室结构，包括灯室底板，以及从内到外依次套设在底板上的反光罩、开放式遮光罩、密闭式遮光罩和外罩，所述底板中间设有一圆形通孔，反光罩的底边与上述圆形通孔的边沿相连，所述反光罩顶部中心设有灯座，灯座上安装有氙灯，所述密闭式遮光罩顶部为密封结构，用于遮挡垂直方向的杂光，外罩的顶部中心设有一通孔，通孔的下方设有一风机，外罩顶部外表面上设有一与风机相连的风机控制器；外罩顶部进一步设有一导线孔，密闭式遮光罩的底部也设有一导线孔，连接氙灯的导线通过反光罩顶部的电极端子引出，然后依次通过开放式遮光罩顶部、密闭式遮光罩底部的导线孔，最后从外罩顶部的导线孔穿出。

所述开放式遮光罩为一圆环或方形环，安装在反光罩和密闭式遮光罩之间，其高度低于密闭式遮光罩的高度，即两个遮光罩在垂直方向上留有间隙，方便热气流动。开放式遮光罩主要用于遮挡来之外部水平方向的光线接近灯室。

所述密闭式遮光罩横截面为圆形或方形。

上述反光罩的顶部内侧进一步设有一温度传感器，温度传感器与风机控制器相连，通过风机控制器与风机实现闭环控制。温度传感器的信号线与氙灯的导线引出路径一致。

上述反光罩的的顶部进一步设有若干个散热孔，用于散热。

所述外罩横截面为方形或圆形，为节省空间，其顶部的面积一般小于底部。

上述遮光式恒温氙灯灯室结构，氙灯的热量通过灯反光罩上方的通气孔向上散发，在外罩风机的作用下，热空气由反光罩向上，穿过开放式遮光罩顶端，再下降到密闭式遮光罩底部，穿过导线孔后，再向上流动到外罩顶部的风机通孔，抽至外界，整个风道呈现一个卧S状曲折结构，一方面使外界杂光多次被遮挡，几乎无法进入灯室；另一方面由于阻滞了热空气自下而上的自然对流，形成了由下到上，再到下，再到上，直到外部的空气强制排风风道，避免了空气的自然对流，所以外部冷热空气对灯室内部温度影响小，便于提到灯室温控精度。

此外，所述外罩遮挡住了水平杂光，通过外罩通孔进入的垂直杂光被密闭式遮光罩遮挡，开放式遮光罩又进行一次水平杂光的二次遮挡，氙灯的反光罩再进行一次水平及垂直杂光的遮挡，这样多次曲折遮挡，使外界杂光无法进入测试设备的测试空间中。提高了光电检测精度，而且灯室恒温精度高，能保证测量光源的谱线不偏移，提高光电测量的准确度。

以下结合附图及具体实施例对本实用新型做进一步详细描述。

附图说明

图1为本实施例的遮光式恒温氙灯灯室内部结构图；