[实用新型]一种全自动槽式化学镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种全自动槽式化学镀设备，属于晶硅光伏电池生产的化学镀设备技术领域。

背景技术

太阳能是人类取之不尽，用之不竭的可再生能源，它不产生任何环境污染，是完全清洁的能源。太阳光辐射能转化电能是近年来发展最快，最具活力的研究之一，人们研制和开发了不同类型的太阳能电池亦称光伏电池。光伏电池其独特优势，超过风能、水能、地热能、核能等资源，有望成为未来电力供应主要支柱。

光伏电池简单的讲就是低电压高电流的发电器件。现已工业化大规模生产的晶体硅光伏电池，常规制造工艺采用丝网印刷并烧结银导体作为正面电极。这种情况下银的使用量非常大，其成本占到总制造成本的15%左右，是除硅片之外的第二大成本消耗。当前研发的新型镍硅合金技术，即是取消传统的丝网印刷，使金属镍替代现有的银，以期大幅降低光伏电池制造成本和生产损耗。

由此必须研发新型的、取代丝网印刷的化学镀设备，该工艺的核心技术是使用化学方法将离子态的金属还原并定向镀在晶硅电池所需的位置上，从而形成金属电极并实现金属与硅之间的有效附着力。通过价格相对银更低的镍、铜等金属的使用，降低光伏电池的制造成本。通过此项新型电极形成的方案，促进光伏电池光电转化效率的提高。

针对这种新型晶硅电极形成的方案，国外基本上都是采用链式设备，并采用电镀或光诱导的方案。而采用化学镀、槽式方案的设备没有任何参考，必须立足于自主研发。

此新型电池制造工艺一旦实现技术突破，其将带来整个晶硅光伏电池制造行业的巨大进步，引领晶硅光伏电池发展的新方向。而全自动槽式化学镀设备作为核心设备之一，其研发成为必然选择。

发明内容

为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种全自动槽式化学镀设备。

一种全自动槽式化学镀设备，PP工艺槽体安装于设备内部，与设备外部的PP储液箱、称量槽、药液原液桶通过管道相连；工艺药液温度传感器安装于PP工艺槽内；PP储液箱内安装加热器，储液箱温度监控传感器、PH值监控传感器安装于PP储液箱内部；循环泵抽取PP储液箱内的工艺药液，药液依次通过第三十九手动阀门、循环泵、过滤器、第六流量计、第四十一手动阀门进入工艺槽；泵回水第四十手动阀门的输入端连接循环泵，第四十手动阀门的输出端通入PP储液箱；PP工艺槽体内液体排液时，通过第四十九手动阀门回流至PP储液箱内；PP储液箱底部设置排液第三十八手动阀门，PP储液箱侧面的溢流管道与第三十八手动阀门输入口相连，第三十八手动阀门输出口与厂务端连接；PP储液箱的第七液位传感器、第八液位传感器、第九液位传感器安装于PP储液箱侧面；

气动泵AP0101抽取原A液桶药液，原A液桶药液内腔连接第十一液位传感器LE0101，通过混合药液和补充药液两条不同功能的通路进入到PP储液箱内；混合药液通路中，药液依次通过的是第一手动阀门、第六手动阀门、第一流量计、第四气动阀门、第十三手动阀门、PP储液箱；补充药液通路中，药液依次通过的是第一手动阀门、第六手动阀门、第一流量计、第一气动阀门、PP称量槽A、第十七手动阀门、第四流量计、第六气动阀门、第十九手动阀门、PP储液箱；第四液位传感器、第五液位传感器、第六液位传感器安装于A-PP称量槽外侧；

气动泵抽取原B液桶药液，原B液桶药液内腔连接第十液位传感器，通过混合药液和补充药液两条不同功能的通路进入到PP储液箱内；混合药液通路中，药液依次通过的是第二手动阀门、第七手动阀门、第二流量计、第三气动阀门、第十一手动阀门、PP储液箱；补充药液通路中，药液依次通过的是第二手动阀门、第七手动阀门、第二流量计、第二气动阀门、B-PP称量槽、第十四手动阀门、第三流量计、第五气动阀门、第十六手动阀门、PP储液箱；第一液位传感器、第二液位传感器、第三液位传感器安装于B-PP称量槽外侧；

外部供给的DIW通过纯水管道进入PP储液箱，DIW依次通过的是第A手动阀门、第二十手动阀门、第五流量计、第七气动阀门、第二十二手动阀门；水压力变送器安装在DIW进水管道入口处；

A补液系统通过第二手动阀门连接B补液系统,第十二手动阀门、第十五手动阀门、第十八手动阀门、第二十一手动阀门均为取样阀门与各个管路连接。

一种应用于晶硅光伏电池生产的全自动化学镀方法,含有以下步骤；

为了提高金属与晶体硅电池之间的附着力，设备采用了化学镀方案，即金属沉积完全是化学反应，无需像电镀一样的通入电流或使用光诱导；

为了降低晶硅电池在生产过程中的碎片率，设备采用槽式方案，硅片在转运及工艺反应过程中都固定在相应的夹具中；