[实用新型]基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置

权利要求书

1.基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置，其特征在于：

包括两个平行设置的吸嘴支架和与该吸嘴支架固定的固定杆，每个吸嘴支架的两端分别设有可移动的至少一个真空吸嘴，该真空吸嘴与真空机构连接。

2.根据权利要求1所述的基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置，其特征在于：

所述吸嘴支架位于固定杆的两侧分别设有固定槽，该固定槽的截面呈倒凸字形。

3.根据权利要求1或2所述的基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置，其特征在于：

所述芯片贴合玻璃拾起装置还包括设于真空吸嘴并实时检测玻璃的位置传感器，该位置传感器与控制模块连接，该控制模块还与连接真空吸嘴的驱动机构信号连接。

4.根据权利要求1或2所述的基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置，其特征在于：

所述固定槽设有位置刻度标示。

5.根据权利要求1或2所述的基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置，其特征在于：

所述真空吸嘴包括呈凸环的本体，在该本体的上套设有夹持块，该夹持块与本体之间设有使夹持块向本体下端移动的弹性部件，在所述夹持块上设有可转动的压杆，在该压杆的中部设有与凸环接触的直杆。

6.根据权利要求5所述的基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置，其特征在于：

在所述固定槽至少一个肩部设有卡齿，该卡齿与夹持块的下端面上设置的卡条配合。