[实用新型]一种紫外发光二极管有效
申请号: | 201320641628.0 | 申请日: | 2013-10-17 |
公开(公告)号: | CN203596359U | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 吴志浩;方妍妍;戴江南;陈长清 | 申请(专利权)人: | 武汉光电工业技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L33/04 | 分类号: | H01L33/04;H01L33/14;B82Y30/00 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 430075 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紫外 发光二极管 | ||
1.一种紫外发光二极管,其特征在于,包括:
衬底;
AlN本征层,形成在所述衬底上;
n型AlxGa1-xN层,形成在所述AlN层上,且所述n型AlxGa1-xN层具有第一表面和第二表面;
AlxGa1-xN多量子阱层,形成在所述n型AlxGa1-xN层的第一表面上;
p型AlxGa1-xN电子阻挡层,形成在所述AlxGa1-xN多量子阱层上;
P型GaN层,形成在所述p型AlxGa1-xN电子阻挡层上;
纳米金属颗粒结构,形成在所述P型GaN层上;
电流扩展层,形成在所述纳米金属颗粒结构上;
p型电极,形成在所述电流扩展层上;
n型电极,形成在所述n型AlxGa1-xN层的第二表面上;
倒装基板,通过焊料分别与所述p型电极和所述n型电极焊接。
2.如权利要求1所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述衬底是蓝宝石、碳化硅或AlN。
3.如权利要求1所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述AlN本征层的厚度在0-10微米之间。
4.如权利要求1所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述n型AlxGa1-xN层的厚度为0.1-10微米。
5.如权利要求1所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述AlxGa1-xN多量子阱层的厚度为1-500纳米。
6.如权利要求1所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述p型AlxGa1-x N电子阻挡层的厚度为1-200纳米。
7.如权利要求1所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述p型GaN层厚度为1-200纳米。
8.如权利要求1所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述金属纳米颗粒结构中的金属纳米颗粒直径为1-500纳米。
9.如权利要求1所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述电流扩展层为与所述p型GaN层形成欧姆接触的非金属导电层。
10.如权利要求9所述的紫外发光二极管,其特征在于,所述电流扩展层为氧化铟锡、氧化镓锌或氧化铝锌。
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