[实用新型]一种SEM用氨气报警装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种SEM用氨气报警装置，尤其涉及一种真空机械泵氨气排放与实验室安全领域。 

背景技术

在扫描电子显微镜工作时，产生多种废气，有氨气等，真空泵抽出的氨气只是简单的滤芯过滤就排出泵外，扩散到实验室中，浓度过高时危害操作人员的身体健康，或者破坏实验室内气氛平衡状态，给实验造成影响。针对现有技术中存在的不足，本实用新型提供了一种小型的SEM用氨气报警装置，该装置能将扫描电镜产生的氨气及时排出实验室，有效防止氨气危害操作人员身体健康和破坏实验室内气氛平衡状态。 

发明内容

本实用新型所述的一种SEM用氨气报警装置,包括机械泵、机械泵罩、抽风机、报警器和氨气浓度感应器、排气管、导线。机械泵上套有机械泵罩；氨气浓度感应器在机械泵罩内壁；报警器与氨气浓度感应器连接；抽风机与报警器用导线连接；抽风机通过排气管与机械泵罩连接。当氨气浓度达到25-50ppm时，氨气浓度感应器自动感应，将信号传递给报警器，报警器发出警报，自动控制抽风机将扫描电镜产生的氨气抽出室内。 

本实用新型的有益效果是：该装置自动感应，结构简单，而且成本低廉、实用性强，极大减小了氨气对人体的危害。

附图说明：

 图l为本实用新型具体实施方式的结构示意图。

1是机械泵，2是机械泵罩，3是氨气浓度感应器，4是报警器，5是抽风机，6是排气管，7是导线。

具体实施方式：

如图所示，机械泵上套有机械泵罩；氨气浓度感应器在机械泵罩内壁；报警器与氨气浓度感应器连接；抽风机与报警器用导线连接；抽风机通过排气管与机械泵罩连接。当氨气浓度达到25-50ppm时，氨气浓度感应器自动感应，将信号传递给报警器，报警器发出警报，自动控制抽风机将扫描电镜产生的氨气抽出室内。