[实用新型]一种触摸屏用ITO导电膜

说明书

技术领域

本实用新型涉及触摸屏导电膜技术领域，具体涉及一种触摸屏用ITO导电膜。

背景技术

触摸屏是一种显著改善人机操作界面的输入设备，具有直观、简单、快捷的优点。触摸屏在许多电子产品中已经获得了广泛的应用，比如手机、PDA、多媒体、公共信息查询系统等。触摸屏制作中常用到ITO导电膜，ITO导电膜是指采用磁控溅射的方法，在透明有机薄膜材料上溅射透明氧化铟锡(ITO)导电薄膜镀层得到的高技术产品。ITO（Indium Tin Oxides，铟锡金属氧化物），作为一种典型的N 型氧化物半导体被广泛地运用在手机、MP3、MP4、数码相机等领域。

现有的ITO膜，电阻率高、透过率差和化学稳定性差，不能满足生产要求。

发明内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种电阻率低、透过率好和化学稳定性好的触摸屏用ITO导电膜。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种触摸屏用ITO导电膜，包括树脂基体和依次沉积在树脂基体的第一ITO层、第二ITO层、第三ITO层和第四ITO层，所述树脂基体的厚度为100-150微米，第一ITO层的厚度为8-10纳米、第二ITO层的厚度为6-8纳米、第三ITO层的厚度为4-6纳米和第四ITO层的厚度为2-4纳米。

优选的，所述树脂基体的厚度为120-150微米，第一ITO层的厚度为8-9纳米、第二ITO层的厚度为6-7纳米、第三ITO层的厚度为4-5纳米和第四ITO层的厚度为2-3纳米。

更为优选的，所述树脂基体的厚度为100微米，第一ITO层的厚度为10纳米、第二ITO层的厚度为8纳米、第三ITO层的厚度为6纳米和第四ITO层的厚度为4纳米。

其中，所述树脂基体为聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基体。

或者是，所述树脂基体为厚度比为3:1的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基体和聚亚胺树脂基体压合而成。

优选的，所述树脂基体和第一ITO层间还沉积有20-30纳米的三氧化二铝光学层。

本实用新型与现有技术相比较，有益效果在于：本实用新型通过设置第一ITO层、第二ITO层、第三ITO层和第四ITO层，促使本实用新型的晶相结构逐步完善， ITO每次沉积后都会经历结晶过程，有效的促进了ITO层完善的结晶。本实用新型为了减少厚度对结晶的影响，将第一ITO层、第二ITO层、第三ITO层和第四ITO层的厚度依次减少，有利于结晶过程的进一步完善，本实用新型制得的触摸屏用ITO导电膜透过率高、电阻率低、化学稳定性好。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的结构示意图。

图2是本实用新型实施例2的结构示意图。

图3是本实用新型实施例3的结构示意图。

附图标记

1——聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基体

2——聚亚胺树脂基体

3——第一ITO层 

4——第二ITO层

5——第三ITO层

6——第四ITO层

7——三氧化二铝光学层。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本实用新型的限定。

实施例1。

见图1，一种触摸屏用ITO导电膜，包括树脂基体和依次沉积在树脂基体的第一ITO层3、第二ITO层4、第三ITO层5和第四ITO层6，所述树脂基体的厚度为100微米，第一ITO层3的厚度为8纳米、第二ITO层4的厚度为6纳米、第三ITO层5的厚度为4纳米和第四ITO层6的厚度为2纳米。

其中，所述树脂基体为聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基体1。

一种触摸屏用ITO导电膜的制备方法，它依次包括以下制备步骤： 

步骤A、将树脂基片放入磁控溅射设备的装载室，密封后进行抽真空；

步骤B、树脂基片加热到200℃后运送至溅射室，采用磁控溅射方式进行第一次沉积，得到第一ITO层3后，运送至冷却室冷却至室温；

步骤C、将溅射有第一ITO层3的树脂基片加热到220℃后运送至溅射室，采用磁控溅射方式进行第二次沉积，得到第二ITO层4后，运送至冷却室冷却至室温； 

步骤D、将溅射有第二ITO层4的树脂基片加热到230℃后运送至溅射室，采用磁控溅射方式进行第三次沉积，得到第三ITO层5后，运送至冷却室冷却至室温；