[实用新型]一种用于观察薄膜表面瑕疵的装置有效
申请号: | 201320630615.3 | 申请日: | 2013-10-14 |
公开(公告)号: | CN203519515U | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 吾文龙;蒋东杰;黄杨细;吕柏灿 | 申请(专利权)人: | 杭州大华塑业有限公司 |
主分类号: | G01N21/896 | 分类号: | G01N21/896;G01N21/01 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 唐银益 |
地址: | 310012 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 观察 薄膜 表面 瑕疵 装置 | ||
1.一种用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,包括载物台(1),所述载物台(1)的内部设置有光源(10),载物台(1)的上表面为透明层(2),透明层(2)的下表面贴有偏光片A(9),所述透明层(2)的正上方设置有偏光片B(7),所述的偏光片B(7)通过上下调节装置与载物台(1)连接在一起。
2.根据权利要求1所述的用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,所述的上下调节装置包括固定在载物台(1)侧部的立柱(3)、套于立柱(3)外层的套管(5),以及固定套管(5)的固定螺丝(4),所述的套管(5)与偏光片B(7)通过连接杆(6)连接在一起。
3.根据权利要求2所述的用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,所述的连接杆(6)与偏光片B(7)固定在一起,所述的偏光片B(7)水平固定。
4.根据权利要求1所述的用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,所述的光源(10)为白炽灯。
5.根据权利要求5所述的用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,所述的白炽灯为水平设置在载物台(1)底部中心的环形白炽灯。
6.根据权利要求1或2或5所述的用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,所述的载物台(1)为不锈钢圆筒。
7.根据权利要求6所述的用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,所述的载物台(1)底部设置有支撑脚(11)。
8.根据权利要求7所述的用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,所述的支撑脚(11)为三个。
9.根据权利要求1所述的用于观察薄膜表面瑕疵的装置,其特征在于,所述的透明层(2)为透明玻璃。
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